MEMS中气体运动的若干微尺度效应

宏观流动到微流动不单是“量”的变化，而且有“质”的不同。在微流动中，由于微尺度效应，主导流动的作用力发生变化，惯性力不再占主导地位；在宏观尺度流动中可以忽略的表面效应和壁面滑移等现象，开始凸现出来，这就导致了微流动中出现了与宏观流动不同的现象和规律。本文研究微流动问题中的若干微尺度效应：包括微喷管中气体流动的特性、微槽道中的稀薄气体效应和分子泵内的流动问题。这些研究对于设计和开发新的微机械机电设备是非常重要的。