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Tailoring the Sharpness of Tungsten Nanotips via Laser Irradiation Enhanced Etching in KOH
1
作者
dandan wang jeffrey lam zhihong mai
《通讯和计算机(中英文版)》
2013年第3期381-384,共4页
关键词
纳米级分辨率
激光照射
化学蚀刻
场发射扫描电子显微镜
清晰度
KOH
钨
裁缝
下载PDF
职称材料
题名
Tailoring the Sharpness of Tungsten Nanotips via Laser Irradiation Enhanced Etching in KOH
1
作者
dandan wang jeffrey lam zhihong mai
机构
Globalfoundries Singapore Pte Ltd
出处
《通讯和计算机(中英文版)》
2013年第3期381-384,共4页
关键词
纳米级分辨率
激光照射
化学蚀刻
场发射扫描电子显微镜
清晰度
KOH
钨
裁缝
Keywords
Tungsten tip sharpening, laser irradiation, physicochemical etching, light-matter interaction.
分类号
O614.613 [理学—无机化学]
TN253.02 [电子电信—物理电子学]
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作者
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1
Tailoring the Sharpness of Tungsten Nanotips via Laser Irradiation Enhanced Etching in KOH
dandan wang jeffrey lam zhihong mai
《通讯和计算机(中英文版)》
2013
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