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IC先导开发向批量生产的技术转移
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作者 douglas j. welter 成福康 《微电子学》 CAS 1988年第5期80-85,共6页
硅片加工工艺从研究小组转移到批量生产阶段,必须按几条指导原则来计划进行。
关键词 批量生产 加工工艺 小组 成批生产 加工技术 硅片 技术转移 IC
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