应用于PV和FPD中的玻璃衬底悬浮技术

在大尺寸平板显示和PV模块制造工艺中,采用空气气垫使玻璃衬底悬浮通过检测区域的方法已经成为了当前的主流工艺。采用新型设计后可以使第10代面板设备的重量降低75%,并且采用一些新的手段还提高真空吸附系统对这些笨重面板的控制。