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新型不锈钢隔离膜压力传感器
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作者 eg&gic sensors 《世界电子元器件》 1998年第8期53-53,共1页
世界领先的硅微机械加工压力、加速度传感器制造商——美国EG&G IC Sensors日前宣布了一款新系列压力传感器,设计用于腐蚀性介质的压力测量。采用新型芯片和制造工艺,使得该系列压力传感器性能指标充分提高而且成本更低。
关键词 压力传感器 不锈钢 隔离膜 芯片
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