用冷凝技术测定氯化氢气中微量水

氯化氢气中痕量水的测定，对半导体材料制造厂来说一直是相当重要的。对氯化氢中水的检测采用过许多不同的方法，包括卡尔·费休滴定法、红外光谱技术和使用干燥剂的重量测定法等。