适用于微机电系统的自适应红外探测器的可调谐滤光器设计与开发(英文)

微机电系统与高品质红外探测技术联合运用为国防、商业、通信、生物医学检测及环境监测等许多应用领域面临的一系列具有挑战性的问题提供了唯一可行的解决方案．可调谐法布里-玻罗滤光片是适用于微机电系统的红外探测器的核心部件．滤光片的结构设计和关键结构件的材料对于滤光片的性能和整个装置的完善性有重要影响．阐述了利用有限元建模进行法布里-玻罗滤光片机械设计和分析的方法．报告了滤光片的结构材料——用低温等离子增强化学沉积法制造的氮化硅的结构表征和机械性能测定方法和结果．最后展示了一些所制作的滤光片阵列．