气体放电电子束的特性和应用

本文描述了产生在软真空中的电子束及其特性,这种成本低廉的大功率电子束在微电子、光电子加工和等离子体化学方面有很大应用价值。文中给出了电子束的放电特性、强度空间分布和能谱的实测结果,对这种电子束的形成机理提出了新的见解。