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MIS隧道器件电流-电压特性的数值模拟
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作者 夏永伟 g.pananakakis G.Kamarinos 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第11期822-832,共11页
本文建立了MLS隧道器件的电流-电压特性的数值模拟程序,提出了一种新的计算方法:龙格-库塔数值积分与边界条件的预估-校正处理相结合的算法.利用建立的程序模拟计算了两种不同氧化层厚度的MIS隧道器件的电流-电压特性.对TiW/Si肖特基二... 本文建立了MLS隧道器件的电流-电压特性的数值模拟程序,提出了一种新的计算方法:龙格-库塔数值积分与边界条件的预估-校正处理相结合的算法.利用建立的程序模拟计算了两种不同氧化层厚度的MIS隧道器件的电流-电压特性.对TiW/Si肖特基二极管,考虑了界面态的静态和动态影响,模拟特性和实验结果相比,令人满意的一致. 展开更多
关键词 MIS 隧道器件 数值模拟 电流 电压
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