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强脉冲离子注入中的脉冲能量效应研究
被引量:
8
1
作者
赵渭江
颜莎
+7 位作者
乐小云
韩宝玺
薛建明
王宇钢
Remmev G E
Opekounov M S
Isakov I F
grushin ii
《核技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第10期689-696,共8页
在脉冲离子束流密度为15-120A/cm2、脉宽为50-150ns、加速电压为150-260kV范围内,在1×104cm-2的低注量水平上,研究了高功率Cn++H+混合离子束注入45号钢样品的强脉冲能量效应.摩擦...
在脉冲离子束流密度为15-120A/cm2、脉宽为50-150ns、加速电压为150-260kV范围内,在1×104cm-2的低注量水平上,研究了高功率Cn++H+混合离子束注入45号钢样品的强脉冲能量效应.摩擦磨损和微观硬度测量以及SEM和X射线衍射分析表明,上述低注量强脉冲离子束注入可以改变材料表面的微观结构和力学特性,而且强烈依赖于单个脉冲离子束的功率密度和能量密度,在相同离子注量条件下,普通C++H+离子注入对45号钢样品表面微硬度和摩擦系数未见明显影响.直接证明了强脉冲能量效应在离子注入中是相对独立于注入元素掺杂效应的又一可利用的重要效应.基于一维导热模型,讨论了强脉冲能量效应以及脉冲离子束功率密度对离子束材料表面改性的作用。
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关键词
脉冲能量效应
表面改性
半导体材料
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职称材料
题名
强脉冲离子注入中的脉冲能量效应研究
被引量:
8
1
作者
赵渭江
颜莎
乐小云
韩宝玺
薛建明
王宇钢
Remmev G E
Opekounov M S
Isakov I F
grushin ii
机构
北京大学重离子物理研究所
俄罗斯托木斯克科技大学核物理研究所
出处
《核技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第10期689-696,共8页
基金
国家自然科学基金!(项目号19575001)资助
文摘
在脉冲离子束流密度为15-120A/cm2、脉宽为50-150ns、加速电压为150-260kV范围内,在1×104cm-2的低注量水平上,研究了高功率Cn++H+混合离子束注入45号钢样品的强脉冲能量效应.摩擦磨损和微观硬度测量以及SEM和X射线衍射分析表明,上述低注量强脉冲离子束注入可以改变材料表面的微观结构和力学特性,而且强烈依赖于单个脉冲离子束的功率密度和能量密度,在相同离子注量条件下,普通C++H+离子注入对45号钢样品表面微硬度和摩擦系数未见明显影响.直接证明了强脉冲能量效应在离子注入中是相对独立于注入元素掺杂效应的又一可利用的重要效应.基于一维导热模型,讨论了强脉冲能量效应以及脉冲离子束功率密度对离子束材料表面改性的作用。
关键词
脉冲能量效应
表面改性
半导体材料
Keywords
Intense pulsed ion beam,Ion implantation, Pulsed energy effects, Materials surface modification
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
强脉冲离子注入中的脉冲能量效应研究
赵渭江
颜莎
乐小云
韩宝玺
薛建明
王宇钢
Remmev G E
Opekounov M S
Isakov I F
grushin ii
《核技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
8
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职称材料
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