强脉冲离子注入中的脉冲能量效应研究

在脉冲离子束流密度为１５－１２０Ａ／ｃｍ２、脉宽为５０－１５０ｎｓ、加速电压为１５０－２６０ｋＶ范围内，在１×１０４ｃｍ－２的低注量水平上，研究了高功率Ｃｎ＋＋Ｈ＋混合离子束注入４５号钢样品的强脉冲能量效应．摩擦磨损和微观硬度测量以及ＳＥＭ和Ｘ射线衍射分析表明，上述低注量强脉冲离子束注入可以改变材料表面的微观结构和力学特性，而且强烈依赖于单个脉冲离子束的功率密度和能量密度，在相同离子注量条件下，普通Ｃ＋＋Ｈ＋离子注入对４５号钢样品表面微硬度和摩擦系数未见明显影响．直接证明了强脉冲能量效应在离子注入中是相对独立于注入元素掺杂效应的又一可利用的重要效应．基于一维导热模型，讨论了强脉冲能量效应以及脉冲离子束功率密度对离子束材料表面改性的作用。