在全视场步进扫描曝光机上进行193nm光刻

评价了先进的 1 93nm抗蚀剂材料在全视场步进扫描系统中的光刻性能。对单层和双层抗蚀剂进行了性能和复杂性的比较。通过对最佳照明条件 (NA ,σ)的研究 ,提出了一种增大工艺窗口和减少疏、密图形偏差的方法。移相掩模的应用证明了1 93nm光刻技术对 1 0 0nm工艺段的拓展能力。

英国泰坦尼克号博物馆

恰遇泰坦尼克号首次航行百周年之际，贝尔法斯特搴坦尼克号博物馆在荚国北爱兰首府贝尔浩斯特市女王岛码头开幕。它是迄今为止世界上最大的拳坦尼克号主题游览景点，也是北爱尔兰地区实施的最大的旅游项目。该建筑项目由概念设计事务所CivicArts/Eric R Kuhne ＆ Associates和首席顾问建筑师10ao事务所协力完成。