金刚石薄膜质量的拉曼光谱与红外光谱判定

根据ＤｉＤｏｍｅｎｉｃｏ公式并采用计算机模拟计算了金刚石薄膜中的ｓｐ２／ｓｐ３键价比，计算中不仅考虑了ｓｐ３相及ｓｐ２相拉曼线１３３２ｃｍ－１，１５８０ｃｍ－１，同时考虑了“Ｄ”线１３５５ｃｍ－１存在，这一计算给出了金刚石薄膜质量的定量评估方法。当金刚石薄膜质量较高时，由于仪器灵敏度限制，其拉曼光谱中显示不出ｓｐ２相宽带结构情况下，无法采用拉曼光谱判定薄膜质量。在此情况下。

金刚石薄膜质量的红外光谱判断技术(英文)

给出了利用红外透射光谱计算金刚石薄膜中ＳＰ２／ＳＰ３键价比，从而判断金刚石薄膜质量的判断技术。这种方法给出了薄膜质量的定量判断，甚至当由于灵敏度限制拉曼光谱无法给出判断结果时这种方法仍可使用。文中给出了两个金刚石薄膜样品的计算结果并和非晶碳膜进行了比较。