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金刚石薄膜中SP^2/SP^3键价比拉曼光谱分析
1
作者
张兵临
h.m.phillips
《光散射学报》
1995年第2期123-123,112,共2页
金刚石薄膜中SP ̄2/SP ̄3键价比拉曼光谱分析张兵临H,M.Philllips(郑州大学物理系郑州450052)AnalysisofSP ̄2/ SP ̄2/SP ̄3BondingRatioinDiamondThinF...
金刚石薄膜中SP ̄2/SP ̄3键价比拉曼光谱分析张兵临H,M.Philllips(郑州大学物理系郑州450052)AnalysisofSP ̄2/ SP ̄2/SP ̄3BondingRatioinDiamondThinFilmsbyRamanSpectr...
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关键词
金刚石薄膜
SP^2/SP^3键价比拉曼光谱分析
布里渊中心光学模
拉曼活性模
下载PDF
职称材料
高分子聚合物材料激光处理及其在微电子工业中应用
被引量:
4
2
作者
赵刚
h.m.phillips
+3 位作者
张兵临
恭知本
刘文清
文公毼
《光电子技术》
CAS
1998年第1期66-73,共8页
综合介绍了激光处理聚酰亚胺等高分子聚合物材料及其在微电子工业中一些新的应用,阐述了材料在吸收激光能量后产生的一系列可能会发生的能量转换和一些令人感兴趣的改性。此外还着重介绍了聚酰亚胺材料的激光感应电导在近几年的研究进...
综合介绍了激光处理聚酰亚胺等高分子聚合物材料及其在微电子工业中一些新的应用,阐述了材料在吸收激光能量后产生的一系列可能会发生的能量转换和一些令人感兴趣的改性。此外还着重介绍了聚酰亚胺材料的激光感应电导在近几年的研究进展以及我们在这方面的研究工作。这一工作在精细加工和微制造工业,尤其是在对提高集成电路的集成度、缩小集成电路内部器件尺寸等方面有广泛的应用前景。
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关键词
聚酰亚胺
激光感应电导
激光加工
VLSI
下载PDF
职称材料
题名
金刚石薄膜中SP^2/SP^3键价比拉曼光谱分析
1
作者
张兵临
h.m.phillips
机构
郑州大学物理系
出处
《光散射学报》
1995年第2期123-123,112,共2页
文摘
金刚石薄膜中SP ̄2/SP ̄3键价比拉曼光谱分析张兵临H,M.Philllips(郑州大学物理系郑州450052)AnalysisofSP ̄2/ SP ̄2/SP ̄3BondingRatioinDiamondThinFilmsbyRamanSpectr...
关键词
金刚石薄膜
SP^2/SP^3键价比拉曼光谱分析
布里渊中心光学模
拉曼活性模
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
高分子聚合物材料激光处理及其在微电子工业中应用
被引量:
4
2
作者
赵刚
h.m.phillips
张兵临
恭知本
刘文清
文公毼
机构
中国科学院安徽光学精密机械研究所
郑州大学物理工程学院
出处
《光电子技术》
CAS
1998年第1期66-73,共8页
基金
国家自然科学基金!69578019
文摘
综合介绍了激光处理聚酰亚胺等高分子聚合物材料及其在微电子工业中一些新的应用,阐述了材料在吸收激光能量后产生的一系列可能会发生的能量转换和一些令人感兴趣的改性。此外还着重介绍了聚酰亚胺材料的激光感应电导在近几年的研究进展以及我们在这方面的研究工作。这一工作在精细加工和微制造工业,尤其是在对提高集成电路的集成度、缩小集成电路内部器件尺寸等方面有广泛的应用前景。
关键词
聚酰亚胺
激光感应电导
激光加工
VLSI
Keywords
polyimide, laser induced conductivity, lithograthy production, microeletronic industry
分类号
TN470.5 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
金刚石薄膜中SP^2/SP^3键价比拉曼光谱分析
张兵临
h.m.phillips
《光散射学报》
1995
0
下载PDF
职称材料
2
高分子聚合物材料激光处理及其在微电子工业中应用
赵刚
h.m.phillips
张兵临
恭知本
刘文清
文公毼
《光电子技术》
CAS
1998
4
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职称材料
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