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金刚石薄膜中SP^2/SP^3键价比拉曼光谱分析
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作者 张兵临 h.m.phillips 《光散射学报》 1995年第2期123-123,112,共2页
金刚石薄膜中SP ̄2/SP ̄3键价比拉曼光谱分析张兵临H,M.Philllips(郑州大学物理系郑州450052)AnalysisofSP ̄2/ SP ̄2/SP ̄3BondingRatioinDiamondThinF... 金刚石薄膜中SP ̄2/SP ̄3键价比拉曼光谱分析张兵临H,M.Philllips(郑州大学物理系郑州450052)AnalysisofSP ̄2/ SP ̄2/SP ̄3BondingRatioinDiamondThinFilmsbyRamanSpectr... 展开更多
关键词 金刚石薄膜 SP^2/SP^3键价比拉曼光谱分析 布里渊中心光学模 拉曼活性模
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高分子聚合物材料激光处理及其在微电子工业中应用 被引量:4
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作者 赵刚 h.m.phillips +3 位作者 张兵临 恭知本 刘文清 文公毼 《光电子技术》 CAS 1998年第1期66-73,共8页
综合介绍了激光处理聚酰亚胺等高分子聚合物材料及其在微电子工业中一些新的应用,阐述了材料在吸收激光能量后产生的一系列可能会发生的能量转换和一些令人感兴趣的改性。此外还着重介绍了聚酰亚胺材料的激光感应电导在近几年的研究进... 综合介绍了激光处理聚酰亚胺等高分子聚合物材料及其在微电子工业中一些新的应用,阐述了材料在吸收激光能量后产生的一系列可能会发生的能量转换和一些令人感兴趣的改性。此外还着重介绍了聚酰亚胺材料的激光感应电导在近几年的研究进展以及我们在这方面的研究工作。这一工作在精细加工和微制造工业,尤其是在对提高集成电路的集成度、缩小集成电路内部器件尺寸等方面有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 聚酰亚胺 激光感应电导 激光加工 VLSI
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