PECVD-MgO超导缓冲层的制备及其性质

超导技术是开发新能源的重要技术之一。超导缓冲层是超导薄膜的重要组成部分。以有机镁[Mg(thd)_2]为起始物,采用等离子强化化学气相沉积(PECVD)工艺,在玻璃、石英、不锈钢和镍衬底上制备了超导缓冲层MgO薄膜,当衬底温度≥400℃时,MgO薄膜为单一(100)晶向,具有理想的表面织构。研究了实验参数,包括射频功率和自偏压对沉积速率和薄膜性能的影响。