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Realization of low contact resistance close to theoretical limit in graphene transistors 被引量:5
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作者 hua zhong zhiyong zhang bingyan chen haitao xu dangming yu le huang lianmao peng 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第5期1669-1679,共11页
认识到在 graphene 和金属电极之间的低接触抵抗为造高效的 graphene 设备仍然是著名挑战。在这个工作,我们试图在 graphene 晶体管减少接触抵抗并且进一步探索在 graphene 和金属接触之间的抵抗限制。在房间温度的 Pd/graphene 接触... 认识到在 graphene 和金属电极之间的低接触抵抗为造高效的 graphene 设备仍然是著名挑战。在这个工作,我们试图在 graphene 晶体管减少接触抵抗并且进一步探索在 graphene 和金属接触之间的抵抗限制。在房间温度的 Pd/graphene 接触抵抗在 100 ?? 下面被减少 ? ?? 汣獡 ? 愢瀭畬 ? 汰獵?? 猯'T  ̄慮潮慰瑲捩敬 ? 敤潣慲整 ? 湯吠佩猼'T 挠慬獳∽ ? 汰獵瀭畬 ? 资 ? ?? 渠湡景扩牥 ? 湥 'L 敬 ? 桴 ? ?捣獥晳汵椠瑮来慲楴湯漠 ? 桴 ? 楢慮祲挠浯潰楳整椠瑮 ? 慢瑴牥敩 ? 潴愠摤敲獳猠牴 ' 壮霊 `? 瑳 'L 汩瑩 ? 湡 ? 潬 ? 慣慰楣吗? 展开更多
关键词 接触电阻 理论极限 晶体管 石墨 金属电极 化学气相沉积 测量系统 平均自由程
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