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微热板的热测试和热分析
1
作者
顾毓沁
张荣海
+6 位作者
朱德忠
孙晓毅
阎桂珍
唐祯安
Philip C.H. Chan
Johnny K.O. Sin
i-ming shing
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期226-228,共3页
随着近代高新技术的发展,要求各种探测器微型化。微加工技术的进步,使得微器件制造有了可能,于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能...
随着近代高新技术的发展,要求各种探测器微型化。微加工技术的进步,使得微器件制造有了可能,于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能,为此微热板的热测试和热分析成为微传感器的研制、使用和评价所必不可少的工作。 本文件对研制中的气体传感器的微热板,用红外热成像技术进行热测试和分析,获得气体传感器微热板的微小区域的温度分布,为传感器的研制提供了可靠的依据。
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关键词
微热板
传感器
红外热成像
热测试
热分析
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职称材料
题名
微热板的热测试和热分析
1
作者
顾毓沁
张荣海
朱德忠
孙晓毅
阎桂珍
唐祯安
Philip C.H. Chan
Johnny K.O. Sin
i-ming shing
机构
清华大学工程力学系
北京大学电子工程系
大连理工大学电子工程系
香港科技大学电机及电子工程学系
出处
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期226-228,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目!(No.59995550-5)
香港研究资助局基金资助项目!(No.HKUST6001/98E)
文摘
随着近代高新技术的发展,要求各种探测器微型化。微加工技术的进步,使得微器件制造有了可能,于是微传感器就应运而生了。微热板作为一种微型加热器在微传感器中有着极为重要的作用。它的温度分布和热特性直接影响微传感器的工作性能,为此微热板的热测试和热分析成为微传感器的研制、使用和评价所必不可少的工作。 本文件对研制中的气体传感器的微热板,用红外热成像技术进行热测试和分析,获得气体传感器微热板的微小区域的温度分布,为传感器的研制提供了可靠的依据。
关键词
微热板
传感器
红外热成像
热测试
热分析
Keywords
micro-hotplate
micro-sensor
infrared thermograph
temperature distribution
分类号
TK39 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微热板的热测试和热分析
顾毓沁
张荣海
朱德忠
孙晓毅
阎桂珍
唐祯安
Philip C.H. Chan
Johnny K.O. Sin
i-ming shing
《工程热物理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
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