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金属铌表面Ar/O2等离子体在线清洗的实验研究 被引量:1
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作者 李敏 杨黎 +6 位作者 陈建军 陈波 王宏彬 吴安东 叶宗标 芶富均 韦建军 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期1147-1151,共5页
超导铌腔的碳氢污染问题导致铌表面的功函数下降,引起场致发射,使超导腔的加速梯度恶化,运行一段时间后必须对其碳氢污染进行清洗才能保证正常使用.针对众多清洗装置用等离子体清洗后无法对其清洗效果进行准确、及时地判断从而控制清洗... 超导铌腔的碳氢污染问题导致铌表面的功函数下降,引起场致发射,使超导腔的加速梯度恶化,运行一段时间后必须对其碳氢污染进行清洗才能保证正常使用.针对众多清洗装置用等离子体清洗后无法对其清洗效果进行准确、及时地判断从而控制清洗截止点,而采用离线测试又会造成一定的二次污染的问题,本文提出了基于静电四极等离子体(Electrostatic Quadrupole Plasma,EQP)质谱分析仪及开尔文探针的等离子体清洗及在线监测装置,成功地将等离子体清洗与残余气体监测集成并投入使用.实验过程中,通过在线监测清洗的副产物及功函数的变化,证明了电感耦合等离子体源产生的密度为1016~1017 m-3的氩、氧混合等离子体,能有效清除铌样品表面的碳氢污染,并对铌表面进行一定的氧化改性,将功函数由4.0 eV提升至5.3 eV左右. 展开更多
关键词 等离子体清洗 在线监测 功函数 残余气体
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The L-shell ionization of Ho and Os induced by electron impact
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作者 WU Zhangwen, GOU Chengjun, YANG Dailun, PENG Xiufeng, HE Fuqing & LUO Zhengming Key Laboratory for Radiation Physics and technology of the Education Ministry of china institute of nuclear science and technology, sichuan university, chengdu 610064, china 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 2006年第16期1929-1933,共5页
The electron-induced L-shell X-ray par- tial production cross sections, total production cross sections and mean ionization cross sections for Ho and Os have been measured as functions of electron energies from near t... The electron-induced L-shell X-ray par- tial production cross sections, total production cross sections and mean ionization cross sections for Ho and Os have been measured as functions of electron energies from near threshold up to 36 keV by using a thin target with thick substrate technique. The influ- ence of the electrons reflected from the substrate was corrected by using the electron transport biparti- tion model. Also, the corrected measured results were compared with theoretical predictions proposed by Gryzinski and McGuire. 展开更多
关键词 电子冲击 电离 X射线
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