高密度互连的湿处理工艺

引言常规的电子互联制造的观念是采用同一溶液达到两个目的:保证溶液反应特性和反应物的交换与传递。前—个目的是提供工艺过程所需的化学药品。例如:氯化铜用于图形转移中金属铜的蚀刻。正是这种溶液的化学特性才使得蚀刻成为可能。