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Flexible Ti-Ni-N Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
被引量：
1
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作者
jindrich musil richard jilek radomir cerstvy
《材料科学与工程（中英文A版）》
2014年第1期27-33,共7页
关键词
磁控溅射法
钛镍
薄膜
制备
反应磁控溅射
弯曲开裂
杨氏模量
弹性涂料
下载PDF
职称材料
题名
Flexible Ti-Ni-N Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
被引量：
1
1
作者
jindrich musil richard jilek radomir cerstvy
机构
Department of Physics and New Technologies for Information Society (NTIS)
出处
《材料科学与工程（中英文A版）》
2014年第1期27-33,共7页
关键词
磁控溅射法
钛镍
薄膜
制备
反应磁控溅射
弯曲开裂
杨氏模量
弹性涂料
Keywords
Flexible coatings, hardness, Young＇s modulus, elastic recovery, macrostress, resistance to cracking.
分类号
TQ637 [化学工程—精细化工]
O484.43 [理学—固体物理]
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职称材料
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作者
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1
Flexible Ti-Ni-N Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering
jindrich musil richard jilek radomir cerstvy
《材料科学与工程（中英文A版）》
2014
1
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职称材料
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