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应用SMIF技术促进高量产Fab的更新升级
1
作者
john ort
Roy Hanter
Chris Hnmphreys
《电子工业专用设备》
2004年第3期69-73,共5页
鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战。为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级手段。本文讨论了选用SMIF技术的原因,公司预期项目的结果,以...
鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战。为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级手段。本文讨论了选用SMIF技术的原因,公司预期项目的结果,以及使选用的SMIF系统可能产生的负面效应降低到最低。关于安装和工艺判定随项目的结果评述。
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关键词
标准机械接口(SMIF)
SMIF小室
自动物料处理系统(AMHS)
SMIF围护
SHIF标识符
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职称材料
题名
应用SMIF技术促进高量产Fab的更新升级
1
作者
john ort
Roy Hanter
Chris Hnmphreys
机构
Texas Instruments
出处
《电子工业专用设备》
2004年第3期69-73,共5页
文摘
鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战。为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级手段。本文讨论了选用SMIF技术的原因,公司预期项目的结果,以及使选用的SMIF系统可能产生的负面效应降低到最低。关于安装和工艺判定随项目的结果评述。
关键词
标准机械接口(SMIF)
SMIF小室
自动物料处理系统(AMHS)
SMIF围护
SHIF标识符
Keywords
Standard mechanical interface(SMIF)
SMIF-pod
Automated material-handling systems
SMIF-enclosure
SMIF-tag
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
应用SMIF技术促进高量产Fab的更新升级
john ort
Roy Hanter
Chris Hnmphreys
《电子工业专用设备》
2004
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