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自对准阻挡层提高互连可靠性
1
作者
H.J.Wu
J.O'loughlin
+8 位作者
R.Shaviv
M.Sriram
k.chattopadhyay
Y.Yu
T.Mountsier
B.van Schravendijk
S.Varadarajan
G.Dixit
R.Havemann
《集成电路应用》
2008年第7期33-35,共3页
一种利用锗掺杂的新型PECVD自对准阻挡层,作为低成本的简单方法,可以提高铜互连对电迁移的抵抗能力。
关键词
阻挡层
自对准
铜互连
可靠性
PECVD
抵抗能力
低成本
电迁移
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职称材料
大包长水口浸入深度对三角形四流中间包钢水质量的影响
2
作者
k.chattopadhyay
张怀军
《现代冶金(内蒙古)》
2014年第1期15-17,共3页
为了研究长水口浸入深度对钢水流动和钢水质量的影响,在等比例中间包水模中完成了物理和数学模拟。在等比例中间包水模中,在各种不同水口浸入深度条件下,完成了卷渣试验。采用聚乙烯玻璃粉(920 Kg/m^3)模拟炉渣相,并且在换包过程中搜集...
为了研究长水口浸入深度对钢水流动和钢水质量的影响,在等比例中间包水模中完成了物理和数学模拟。在等比例中间包水模中,在各种不同水口浸入深度条件下,完成了卷渣试验。采用聚乙烯玻璃粉(920 Kg/m^3)模拟炉渣相,并且在换包过程中搜集每个浸入深度条件下,借助卷渣说明其相对性能。开发了一个三维数学模型、并且在各种不同大包长水口浸入深度条件下,检测湍流等高线(湍流动能(TKE)等高线)。当浸入深度位置较低时,中间包内的湍流现象较为严重,结果导致更多的卷渣。与之相反,当浸入深度位置较高时,中间包内的湍流现象较轻,由此产生的卷渣数量也较少。因此,采用长水口浸入位置较高的中间包操作可能取消湍流抑制器的使用,并降低耐火材料的消耗和成本。
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关键词
浸入深度
卷渣
TKE
数学模型
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职称材料
题名
自对准阻挡层提高互连可靠性
1
作者
H.J.Wu
J.O'loughlin
R.Shaviv
M.Sriram
k.chattopadhyay
Y.Yu
T.Mountsier
B.van Schravendijk
S.Varadarajan
G.Dixit
R.Havemann
机构
Novellus Systems Inc.
出处
《集成电路应用》
2008年第7期33-35,共3页
文摘
一种利用锗掺杂的新型PECVD自对准阻挡层,作为低成本的简单方法,可以提高铜互连对电迁移的抵抗能力。
关键词
阻挡层
自对准
铜互连
可靠性
PECVD
抵抗能力
低成本
电迁移
分类号
TN405.97 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN966 [电子电信—信号与信息处理]
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职称材料
题名
大包长水口浸入深度对三角形四流中间包钢水质量的影响
2
作者
k.chattopadhyay
张怀军
出处
《现代冶金(内蒙古)》
2014年第1期15-17,共3页
文摘
为了研究长水口浸入深度对钢水流动和钢水质量的影响,在等比例中间包水模中完成了物理和数学模拟。在等比例中间包水模中,在各种不同水口浸入深度条件下,完成了卷渣试验。采用聚乙烯玻璃粉(920 Kg/m^3)模拟炉渣相,并且在换包过程中搜集每个浸入深度条件下,借助卷渣说明其相对性能。开发了一个三维数学模型、并且在各种不同大包长水口浸入深度条件下,检测湍流等高线(湍流动能(TKE)等高线)。当浸入深度位置较低时,中间包内的湍流现象较为严重,结果导致更多的卷渣。与之相反,当浸入深度位置较高时,中间包内的湍流现象较轻,由此产生的卷渣数量也较少。因此,采用长水口浸入位置较高的中间包操作可能取消湍流抑制器的使用,并降低耐火材料的消耗和成本。
关键词
浸入深度
卷渣
TKE
数学模型
分类号
TF769.2 [冶金工程—钢铁冶金]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
自对准阻挡层提高互连可靠性
H.J.Wu
J.O'loughlin
R.Shaviv
M.Sriram
k.chattopadhyay
Y.Yu
T.Mountsier
B.van Schravendijk
S.Varadarajan
G.Dixit
R.Havemann
《集成电路应用》
2008
0
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职称材料
2
大包长水口浸入深度对三角形四流中间包钢水质量的影响
k.chattopadhyay
张怀军
《现代冶金(内蒙古)》
2014
0
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职称材料
已选择
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