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自对准阻挡层提高互连可靠性
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作者 H.J.Wu J.O'loughlin +8 位作者 R.Shaviv M.Sriram k.chattopadhyay Y.Yu T.Mountsier B.van Schravendijk S.Varadarajan G.Dixit R.Havemann 《集成电路应用》 2008年第7期33-35,共3页
一种利用锗掺杂的新型PECVD自对准阻挡层,作为低成本的简单方法,可以提高铜互连对电迁移的抵抗能力。
关键词 阻挡层 自对准 铜互连 可靠性 PECVD 抵抗能力 低成本 电迁移
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大包长水口浸入深度对三角形四流中间包钢水质量的影响
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作者 k.chattopadhyay 张怀军 《现代冶金(内蒙古)》 2014年第1期15-17,共3页
为了研究长水口浸入深度对钢水流动和钢水质量的影响,在等比例中间包水模中完成了物理和数学模拟。在等比例中间包水模中,在各种不同水口浸入深度条件下,完成了卷渣试验。采用聚乙烯玻璃粉(920 Kg/m^3)模拟炉渣相,并且在换包过程中搜集... 为了研究长水口浸入深度对钢水流动和钢水质量的影响,在等比例中间包水模中完成了物理和数学模拟。在等比例中间包水模中,在各种不同水口浸入深度条件下,完成了卷渣试验。采用聚乙烯玻璃粉(920 Kg/m^3)模拟炉渣相,并且在换包过程中搜集每个浸入深度条件下,借助卷渣说明其相对性能。开发了一个三维数学模型、并且在各种不同大包长水口浸入深度条件下,检测湍流等高线(湍流动能(TKE)等高线)。当浸入深度位置较低时,中间包内的湍流现象较为严重,结果导致更多的卷渣。与之相反,当浸入深度位置较高时,中间包内的湍流现象较轻,由此产生的卷渣数量也较少。因此,采用长水口浸入位置较高的中间包操作可能取消湍流抑制器的使用,并降低耐火材料的消耗和成本。 展开更多
关键词 浸入深度 卷渣 TKE 数学模型
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