氢化气相外延氮化镓生长中气氛的作用研究(英文)

报告了氢化物气相外延技术中 ,在载气氮气氛中加入氢气对材料表面形貌及材料性质的影响。实验发现生长气氛中氢的存在会显著改进材料的质量 ,这种作用被归之于氢气氛下氨气在气相中的反应下降以及生长表面较低的氮的活动能力。