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300mm 片子步进机的流片率
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作者 kawai.,h 董表义 《电子工业专用设备》 1997年第3期56-59,共4页
３００ｍｍ片子步进机的流片率ＮＩＫＯＮ公司第一设计部ＩＣ＆ＬＣＤ设备分部ＨｉｄｅｍｉＫａｗａｉ１前言就在１９９３年年底时，半导体产业界还很难决定继２００ｍｍ片子之后，下一代片子的主角究竟是由３００ｍｍ片子承担，还是由... ３００ｍｍ片子步进机的流片率ＮＩＫＯＮ公司第一设计部ＩＣ＆ＬＣＤ设备分部ＨｉｄｅｍｉＫａｗａｉ１前言就在１９９３年年底时，半导体产业界还很难决定继２００ｍｍ片子之后，下一代片子的主角究竟是由３００ｍｍ片子承担，还是由４００ｍｍ片子直接承担。这一选择直... 展开更多
关键词 步进机 流片率 曝光设备
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