用化学热解沉积法制备硫化镉薄膜的微结构(英文)

在载玻片或ITO涂覆的玻璃上采用化学热解法沉积CdS固体薄膜 ,沉积温度在 35 0～ 5 4 0℃之间 .部分制备的CdS薄膜进行 2 0 0～ 6 0 0℃的退火热处理 .由SEM ,AFM和XRD分析测量退火热处理前后的CdS薄膜的微观结构 .结果表明 ,沉积温度低于 5 4 0℃以下制备的CdS薄膜具有类六方结构相 ,当高于 5 4 0℃沉积的CdS薄膜则显示纤锌矿相 .在 4 0 0℃化学热解沉积的CdS薄膜经高于 5 0 0℃的后热处理也可获得纤锌矿相 .