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Evaluation of Two Si Layers Simultaneously Crystallized LTPS-TFT Memory by the Green Laser Irradiation
1
作者
Kazunori Ichikawa
Hiroshi Akamatsu
+2 位作者
koji yamasaki
Masahiro Horita
Yukiharu Uraoka
《材料科学与工程（中英文B版）》
2013年第6期375-378,共4页
关键词
激光照射
一次结晶
硅层
闪速存储器
内存
评估
A-SI
准分子激光器
下载PDF
职称材料
题名
Evaluation of Two Si Layers Simultaneously Crystallized LTPS-TFT Memory by the Green Laser Irradiation
1
作者
Kazunori Ichikawa
Hiroshi Akamatsu
koji yamasaki
Masahiro Horita
Yukiharu Uraoka
机构
Department of Electrical Engineering
Grduate School of Materials Science
出处
《材料科学与工程（中英文B版）》
2013年第6期375-378,共4页
关键词
激光照射
一次结晶
硅层
闪速存储器
内存
评估
A-SI
准分子激光器
Keywords
Low temperature poly-Si thin film transistor, flash memory, laser crystallization.
分类号
TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]
Q631 [生物学—生物物理学]
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职称材料
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作者
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1
Evaluation of Two Si Layers Simultaneously Crystallized LTPS-TFT Memory by the Green Laser Irradiation
Kazunori Ichikawa
Hiroshi Akamatsu
koji yamasaki
Masahiro Horita
Yukiharu Uraoka
《材料科学与工程（中英文B版）》
2013
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职称材料
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