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大气压低功率微波等离子体源的研究进展及其应用展望
被引量:
7
1
作者
陈兆权
张煌
+1 位作者
涂一烺
kudryavtsev a.a.
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2018年第12期1-19,共19页
相比于低气压微波等离子体,大气压下微波放电具有密度大、活性高及产生设备简单等优异特征.但由于大气压下微波放电常呈现为流注形式,激发此环境下的微波放电需要很高的入射功率.因此,大气压微波放电的实现代价较高,实际应用较困难.针...
相比于低气压微波等离子体,大气压下微波放电具有密度大、活性高及产生设备简单等优异特征.但由于大气压下微波放电常呈现为流注形式,激发此环境下的微波放电需要很高的入射功率.因此,大气压微波放电的实现代价较高,实际应用较困难.针对大气压低功率微波放电难于实现的科学技术难题,本文重点陈述了大气压低功率微波等离子体源的研究现状及其应用展望.首先综述了国际上4类典型大气压低功率微波等离子体源的研究开发现状,接着介绍了该领域数值计算方面的研究进展,然后探讨了大气压低功率微波放电的物理机制,最后给出几个工程应用实例,并对潜在的应用前景进行了展望.
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关键词
微波放电
表面波等离子体
数值模拟
电磁模式
电离波
原文传递
题名
大气压低功率微波等离子体源的研究进展及其应用展望
被引量:
7
1
作者
陈兆权
张煌
涂一烺
kudryavtsev a.a.
机构
安徽工业大学电气与信息工程学院
Faculty of Physics
出处
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2018年第12期1-19,共19页
基金
国家自然科学基金(批准号:11575003
11105002
51607003)资助项目
文摘
相比于低气压微波等离子体,大气压下微波放电具有密度大、活性高及产生设备简单等优异特征.但由于大气压下微波放电常呈现为流注形式,激发此环境下的微波放电需要很高的入射功率.因此,大气压微波放电的实现代价较高,实际应用较困难.针对大气压低功率微波放电难于实现的科学技术难题,本文重点陈述了大气压低功率微波等离子体源的研究现状及其应用展望.首先综述了国际上4类典型大气压低功率微波等离子体源的研究开发现状,接着介绍了该领域数值计算方面的研究进展,然后探讨了大气压低功率微波放电的物理机制,最后给出几个工程应用实例,并对潜在的应用前景进行了展望.
关键词
微波放电
表面波等离子体
数值模拟
电磁模式
电离波
Keywords
microwave discharge
surface wave plasma
numerical simulation
electromagnetic model
ionization wave
分类号
O53 [理学—等离子体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大气压低功率微波等离子体源的研究进展及其应用展望
陈兆权
张煌
涂一烺
kudryavtsev a.a.
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2018
7
原文传递
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参考文献
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