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溅射和激光淀积的ZnO多晶薄膜的结构和发光性质(英文)
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作者 XIONGGang UCERKB +3 位作者 WILLIAMSRT TANGPing linbi-xia FUZhu-xi 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第3期178-184,共7页
我们分别通过直流反应溅射及脉冲激光淀积法制备了ZnO多晶薄膜。X射线衍射结果显示出薄膜的c轴取向。原子力显微镜证实薄膜的多晶结构。两种方法制备的ZnO在光子激发下都发射较强的带边荧光。绿色荧光未被观察到。激光淀积在(001)硅表面... 我们分别通过直流反应溅射及脉冲激光淀积法制备了ZnO多晶薄膜。X射线衍射结果显示出薄膜的c轴取向。原子力显微镜证实薄膜的多晶结构。两种方法制备的ZnO在光子激发下都发射较强的带边荧光。绿色荧光未被观察到。激光淀积在(001)硅表面的ZnO的发光源自“自由激子”辐射。激光淀积在(0001)氧化铝晶体表面的ZnO的发光机制则在相当宽的激发强度范围内都呈现出电子空穴等离子体(electron holeplasma)的复合特性。 展开更多
关键词 激光淀积 ZnO多晶薄膜 发光性质 直流反应溅射
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Structural and Luminescent Properties of ZnO Thin Films Deposited by Atmospheric Pressure Chemical Vapour Deposition
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作者 ZHAOGuo-Liang linbi-xia +2 位作者 HONGLiang MENGXiang-Dong FUZhu-Xi 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2004年第7期1381-1383,共3页
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