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基于“卒中急救地图”区块链模式管控卒中急救影响因素的研究 被引量:4
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作者 徐养平 鲁静 +6 位作者 王佐圣 许万鹏 雒明旺 王婕 彭可东 刘志繁 田景 《中国中西医结合急救杂志》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期318-320,共3页
目的观察“卒中急救地图”区块链模式对急性缺血性脑卒中(AIS)急救的管控效果。方法回顾分析白银市6家二级以上医院急诊收治的1744例AIS患者的临床资料。以2019年5月至2019年12月通过常规急救绿色通道流程救治的402例(其中静脉溶栓188例... 目的观察“卒中急救地图”区块链模式对急性缺血性脑卒中(AIS)急救的管控效果。方法回顾分析白银市6家二级以上医院急诊收治的1744例AIS患者的临床资料。以2019年5月至2019年12月通过常规急救绿色通道流程救治的402例(其中静脉溶栓188例)患者作为对照组;以2020年1月至2021年12月使用“卒中急救地图”区块链模式管控急救绿色通道流程救治的1342例(其中静脉溶栓598例)患者作为观察组。比较两组创建档案完整率、120救护车接诊率、静脉溶栓率和不同管控模式下两组静脉溶栓患者急诊首诊检查时间和静脉溶栓门针时间(DNT)的差异。结果观察组创建档案完整率、120接诊率均较对照组明显提高〔创建档案完整率:70.42%(945/1342)比64.43%(259/402),120接诊率:16.02%(215/1342)比11.69%(47/402),均P<0.05〕;但两组静脉溶栓率比较差异无统计学意义〔44.56%(598/1342)比46.77%(188/402),P>0.05〕。观察组实施静脉溶栓者急诊首诊检查时间、DNT均较对照组实施静脉溶栓者明显缩短〔急诊首诊检查时间(min):29.56±4.83比32.71±6.63,DNT(min):44.52±14.28比47.31±19.03,均P<0.05〕。结论“卒中急救地图”区块链模式管控对AIS急救效果良好。 展开更多
关键词 “卒中急救地图”区块链模式 管理和质控 卒中急救影响因素 效果
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基于“双碳”目标下的综合能源规划体系研究 被引量:2
2
作者 赵昕 刘知凡 +3 位作者 厉艳 冯延坤 陆媛 张嘉璐 《能源与环保》 2023年第9期175-178,186,共5页
电力作为能源领域排放第一大户,加快提升电力系统低碳转型速度有助于大大推进能源转型进程,助力碳达峰工程尽早完工。为此,基于综合能源系统的基本架构,从源-网-荷-储4个不同的能源环节出发,探究可再生能源灵活性消纳相关技术;然后,以... 电力作为能源领域排放第一大户,加快提升电力系统低碳转型速度有助于大大推进能源转型进程,助力碳达峰工程尽早完工。为此,基于综合能源系统的基本架构,从源-网-荷-储4个不同的能源环节出发,探究可再生能源灵活性消纳相关技术;然后,以分布式清洁能源系统为例,分别对跨区域型以及非跨区域型的综合能源系统建设的重点工作及系统架构进行分析,给出系统建模方法及要素;最后,对2种类型综合能源系统所面临的挑战进行展望,给出了应对建议。研究为低碳综合能源体系建设提供了一定的理论支撑依据,能够推进“双碳”目标的早日实现。 展开更多
关键词 可再生能源 “双碳” 低碳转型 碳排放
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基于小波设计和数据挖掘算法协同训练的非侵入式负载识别 被引量:12
3
作者 周步祥 张致强 +2 位作者 袁岳 刘治凡 廖敏芳 《电测与仪表》 北大核心 2019年第4期1-7,共7页
居民用电信息细化对于规划居民电器使用和降低电能消耗具有重要的意义。文章在非侵入式负载识别技术的基础上,提出了一种利用数据挖掘算法进行协同训练的方法,小波设计用于提取家庭常用电器的开、关暂态特性的特征信息,利用小波的能量... 居民用电信息细化对于规划居民电器使用和降低电能消耗具有重要的意义。文章在非侵入式负载识别技术的基础上,提出了一种利用数据挖掘算法进行协同训练的方法,小波设计用于提取家庭常用电器的开、关暂态特性的特征信息,利用小波的能量系数作为特征值,使用k近邻算法和决策树算法协同训练分类出负载样本,对测试集进行了算法验证实验,在简化了计算复杂性的基础上获得了更高的识别精度,克服了一对余算法在分类真实负类事件上存在的缺陷,为用电可视化的研究工作打下基础。 展开更多
关键词 非侵入式负荷识别 小波分析 决策树算法 K近邻算法 协同训练
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基于GRASP-PR混合算法的电动汽车有序充电优化 被引量:12
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作者 周步祥 刘治凡 +2 位作者 黄河 董申 邢亮 《电测与仪表》 北大核心 2020年第2期7-13,20,共8页
大规模电动汽车(Electric Vehicle,EV)并网充电会对配电网造成过负荷、网损增大、电压越界等影响,为了减小EV充电对电网的冲击,文中构建一种多目标EV充电优化模型,并提出GRASP-PR混合算法进行求解。算例仿真采用IEEE 33节点配电网系统,... 大规模电动汽车(Electric Vehicle,EV)并网充电会对配电网造成过负荷、网损增大、电压越界等影响,为了减小EV充电对电网的冲击,文中构建一种多目标EV充电优化模型,并提出GRASP-PR混合算法进行求解。算例仿真采用IEEE 33节点配电网系统,对比研究所提算法、传统GRASP算法和无序充电的仿真结果,证明基于该混合算法有序充电能达到最小化配电网运营成本、负荷"移峰填谷"和升高节点电压水平的目标,有利于解决EV有序充电问题。 展开更多
关键词 电动汽车 多目标优化 GRASP-PR混合算法 有序充电
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计及多种充电模式的电动汽车充电站有序充电双层优化策略 被引量:12
5
作者 周步祥 刘治凡 +1 位作者 黄河 张致强 《电测与仪表》 北大核心 2021年第3期15-22,共8页
大规模电动汽车无序接入充电站不仅会引起配电网负荷“峰上加峰”,还会造成充电拥堵,延长电动汽车排队等待时间。建立了计及多种充电模式的电动汽车充电站有序充电双层优化模型。在上层模型中,以配电网负荷方差和上下层调度计划偏差综... 大规模电动汽车无序接入充电站不仅会引起配电网负荷“峰上加峰”,还会造成充电拥堵,延长电动汽车排队等待时间。建立了计及多种充电模式的电动汽车充电站有序充电双层优化模型。在上层模型中,以配电网负荷方差和上下层调度计划偏差综合最小为目标实现系统负荷“削峰填谷”,使负荷曲线更平坦。在下层模型中,建立基于多队列多服务台的充电站排队系统,减少电动汽车出行时间和充电费用。采用遗传算法和蚁群算法分层迭代求解模型,以含有4个充电站的IEEE 33节点配网系统为例进行仿真,结果通过与无序充电、Active Scheduling(AS)模型对比表明:所提模型在优化配电网系统负荷、减少电动汽车出行时间和充电费用等方面具有一定的有效性。 展开更多
关键词 电动汽车 充电站 充电模式 有序充电 双层优化
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基于实时最优恒定功率的电动汽车有序充电策略 被引量:9
6
作者 周步祥 何飞宇 +2 位作者 魏金萧 刘治凡 杨明通 《电测与仪表》 北大核心 2021年第12期18-23,共6页
大规模电动汽车无序接入充电会与电力系统基础负荷“峰峰相叠”,加大系统峰谷差,造成配电变压器重过载和系统网损增大等后果,从而威胁电网的安全运行。为了实现电动汽车有序充电,在以负荷波动差作为网损分析指标的基础上,提出基于实时... 大规模电动汽车无序接入充电会与电力系统基础负荷“峰峰相叠”,加大系统峰谷差,造成配电变压器重过载和系统网损增大等后果,从而威胁电网的安全运行。为了实现电动汽车有序充电,在以负荷波动差作为网损分析指标的基础上,提出基于实时最优恒定功率的电动汽车有序充电模型。根据常规负荷预测曲线和电动汽车充电基础数据求解实时最优恒定功率,在满足配变最大容量等约束的前提下,以系统负荷波动差最小为目标形成电动汽车有序充电方案。最后通过MATLAB平台作算例仿真,以IEEE 33节点系统为例的仿真结果表明:所提有序充电策略能够更有效地实现系统负荷“移峰填谷”,达到平抑负荷波动和降低系统网损的目标,从而验证了该策略的有效性。 展开更多
关键词 电动汽车 有序充电 负荷波动差 实时最优恒定功率
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基于假设检验的快速事件检测算法 被引量:5
7
作者 周步祥 黄河 +2 位作者 刘治凡 魏金萧 张致强 《工程科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期42-48,共7页
针对非侵入式负荷监测的传统方法存在实现复杂、难以实时计算、数据集需要反复训练阈值等弊端,提出了一种基于假设检验的快速事件检测算法,即复合假设检验算法。该算法先将智能电表采集到的总功率信号通过卡方拟合优度检验找出可能存在... 针对非侵入式负荷监测的传统方法存在实现复杂、难以实时计算、数据集需要反复训练阈值等弊端,提出了一种基于假设检验的快速事件检测算法,即复合假设检验算法。该算法先将智能电表采集到的总功率信号通过卡方拟合优度检验找出可能存在事件发生的时间点;然后,对前后两个窗口使用Z检验,只针对可疑点进行事件检验,进而由测试结果确定是否存在事件的发生,运算简单迅速。在BLUED数据集上进行了复合假设检验算法与标准卡方拟合优度检验方法的事件检测性能仿真对比实验。由实验结果可知:本文算法对不同基负载的检测结果具有稳定性与鲁棒性;本文算法在精确识别开关事件的同时,还能保证运算速度快速简洁的特点,提高了事件检测的识别精度,具有一定的应用价值和参考意义。 展开更多
关键词 非侵入式事件检测 卡方拟合优度 Z检验 鲁棒性
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钎杆内孔的液压低频振动扩孔工艺实验 被引量:1
8
作者 徐林红 刘志凡 +1 位作者 高尚 饶建华 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期117-124,131,共9页
为完全去除中空钢钎杆内孔表面的氧化层和裂纹层的影响,采用深孔扩孔的方式加工钎杆内孔。针对深孔扩孔过程中存在的切屑排出困难、切削温度高、内孔表面加工质量差等问题,利用液压低频振动辅助枪钻对中空钢钎杆进行深孔扩孔,研究振动... 为完全去除中空钢钎杆内孔表面的氧化层和裂纹层的影响,采用深孔扩孔的方式加工钎杆内孔。针对深孔扩孔过程中存在的切屑排出困难、切削温度高、内孔表面加工质量差等问题,利用液压低频振动辅助枪钻对中空钢钎杆进行深孔扩孔,研究振动参数及加工参数对切屑形态、内孔表面质量、切削热的影响。实验结果表明:在转速为500 r/min、进给量为0.1 mm/r条件下,相对于普通扩孔,液压低频振动扩孔可减小切屑尺寸,减少切屑表面锯齿边缘现象,优化内孔加工表面,减少刀痕和划痕,降低加工温度。且当频率为36.7 Hz、振幅为0.58 mm时,切屑尺寸最小,内孔表面划痕最少,加工温度最低;随着进给量在0.80~0.12 mm/r范围内增大,切屑长度变大,内孔表面的刀痕和划痕增多;转速对切屑长度及内孔表面形貌影响较小。 展开更多
关键词 钎杆 低频振动 扩孔 液压激振器 加工质量
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Integrated Organ-on-a-chip with Human-induced Pluripotent Stem Cells Directional Differentiation for 3D Skin Model Generation
9
作者 LUO Zhang GONG Chaihong +4 位作者 MAO Xiaowei WANG Zhe liu zhifan BEN Yali ZHANG Weiying 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2022年第6期1271-1278,共8页
Keratinocytes and fibroblasts,derived from hiPSCs,were used to construct the human epidermal model by a culture patch made by monolayer poly-(lactic-co-glycolic acid)(PLGA)nanofibers and a human skin-on-a-chip device.... Keratinocytes and fibroblasts,derived from hiPSCs,were used to construct the human epidermal model by a culture patch made by monolayer poly-(lactic-co-glycolic acid)(PLGA)nanofibers and a human skin-on-a-chip device.Unlike the conventional culture dish method,two different epidermal cells are successfully adhered to the front and back sides of the patch,which produces a three-dimensional nanofibrous scaffold similar to a natural extracellular matrix before the patch was cultured in the skin-on-a-chip device to mimic the physiological conditions of human skin.As expected,the differentiated hiPSCs show the expression of keratinocyte-and fibroblast-specific proteins on the patch,and the layering is found between these two kinds of cells,indicating that this approach creates a powerful in vitro system for modeling skin development and diseases. 展开更多
关键词 organ-on-a-chip human-induced pluripotent stem cells 3D skin model direction differentiation
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基于改进状态转移算法的电力系统两阶段动态无功优化 被引量:5
10
作者 周步祥 杨晶杰 +1 位作者 刘治凡 刘思聪 《电力电容器与无功补偿》 2021年第6期22-30,共9页
针对混合整数非线性规划的电力系统动态无功优化问题,提出两阶段动态无功优化模型以降低计算规模。第1阶段为非线性规划,以系统网损和节点电压偏移综合最小为目标。第2阶段为混合整数规划,在满足设备全天调节次数等约束的基础上,以电力... 针对混合整数非线性规划的电力系统动态无功优化问题,提出两阶段动态无功优化模型以降低计算规模。第1阶段为非线性规划,以系统网损和节点电压偏移综合最小为目标。第2阶段为混合整数规划,在满足设备全天调节次数等约束的基础上,以电力系统网损增量最小为目标。鉴于常规罚函数法处理约束条件会出现罚因子选取不当而影响最终结果的情况,提出混合滤子技术的改进状态转移算法。该算法采用双种群并行搜索方式,将个体适应度和约束违反度构成滤子对作为评价指标以替代罚函数。最后,以IEEE 14节点系统和某地级电网实际系统为例,将所提算法、传统状态转移算法和多种群蚁群算法分别求解模型,通过对比分析仿真结果验证了所提模型与算法的正确性。 展开更多
关键词 混合整数非线性规划 动态无功优化 两阶段 滤子技术 状态转移算法
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考虑惯性效应的渗流方程及相关阻力标度律 被引量:1
11
作者 刘军文 刘志帆 +1 位作者 王晓宏 刘志峰 《力学季刊》 CSCD 北大核心 2018年第4期689-697,共9页
本文基于体积平均法推导得到了多孔介质中考虑惯性效应时的局部线化宏观流动方程,由此可以递推得到较大雷诺数Re时Navier-Stokes方程的解,从而避免了直接求解Navier-Stokes方程所带来的计算成本高和计算稳定性差的问题.针对正方形周期... 本文基于体积平均法推导得到了多孔介质中考虑惯性效应时的局部线化宏观流动方程,由此可以递推得到较大雷诺数Re时Navier-Stokes方程的解,从而避免了直接求解Navier-Stokes方程所带来的计算成本高和计算稳定性差的问题.针对正方形周期排列模型的算例表明,平均速度方向与宏观压力梯度方向并不总是一致,一般情况下,随着Re增大,二者差异也会增大.当固定平均速度方向v?时,压差阻力在较大的Re范围内存在标度律,标度指数约为3.该标度指数与弱惯性区域标度指数一致,但弱惯性区域Re范围仅为0<Re<1,而本文发现的标度律区域可宽达100. 展开更多
关键词 Forchheimer方程 体积平均法 局部展开算法 压差阻力和摩擦阻力 非线性
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双馈风电机组低/高电压复合穿越的控制策略研究 被引量:1
12
作者 严雨豪 周步祥 +3 位作者 陈实 董申 刘治凡 臧天磊 《电气传动》 2022年第17期32-39,共8页
目前研究双馈风电机组(DFIG)高电压穿越的重点是单次高压型故障,然而DFIG低电压穿越后,由于无功补偿策略的不合理性,会引发低\高电压复合型故障,对电压二次骤升的暂态分析造成一定影响。因此,在低压恢复阶段的前提下,对电压二次骤升下... 目前研究双馈风电机组(DFIG)高电压穿越的重点是单次高压型故障,然而DFIG低电压穿越后,由于无功补偿策略的不合理性,会引发低\高电压复合型故障,对电压二次骤升的暂态分析造成一定影响。因此,在低压恢复阶段的前提下,对电压二次骤升下的转子电流公式进行合理推导,并提出一种转子过电流抑制策略。然后基于故障穿越时系统的无功需求,改进网侧变流器的控制策略。该策略一方面能够减少撬棒保护的投切频率,在一定程度上避免转子侧换流器旁路造成的不可控性;另一方面能够最大限度地向机组给予无功支持,保持直流母线电压处于稳定状态,提升高电压穿越的可靠性。 展开更多
关键词 双馈风电机组 低/高电压穿越 低压恢复阶段 撬棒电路 转子过电流抑制
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基于模态分析的水下航行器尾舵结构优化 被引量:1
13
作者 王志斌 赵坚 +6 位作者 宁凡 刘聪 黄凯伦 王志伟 高志鹏 刘祉繁 侯景嵘 《天津城建大学学报》 CAS 2021年第4期279-283,共5页
通过采用计算模态分析与试验模态分析方法,得出原始尾舵的模态频率及振型,对比试验结果与有限元分析结果,验证了原始尾舵有限元模型的准确性,并分析其薄弱环节.基于此提出两种优化尾舵方案,分别进行计算模态分析,得到两种优化尾舵的模... 通过采用计算模态分析与试验模态分析方法,得出原始尾舵的模态频率及振型,对比试验结果与有限元分析结果,验证了原始尾舵有限元模型的准确性,并分析其薄弱环节.基于此提出两种优化尾舵方案,分别进行计算模态分析,得到两种优化尾舵的模态参数,同时与三级海况的频率范围进行对比,选出了更为适合水下航行器的尾舵. 展开更多
关键词 水下航行器 尾舵 模态分析 结构优化
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山区特色架空输电线路鸟害分析与防治研究 被引量:4
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作者 王亮 黄同新 +2 位作者 刘志帆 王广友 曾繁皓 《电工技术》 2022年第3期38-40,共3页
针对山区运维难度大、鸟类繁多、人烟稀少等导致防治鸟害已成为山区运维重要工作之一,首先阐述了鸟害的类型,继而分析了现有的防鸟装置与方法,再以清远地区为例研究鸟类分布与鸟类对鸟害的影响,根据鸟类分布和种类提出针对性的防治不同... 针对山区运维难度大、鸟类繁多、人烟稀少等导致防治鸟害已成为山区运维重要工作之一,首先阐述了鸟害的类型,继而分析了现有的防鸟装置与方法,再以清远地区为例研究鸟类分布与鸟类对鸟害的影响,根据鸟类分布和种类提出针对性的防治不同地区鸟害的思路,以期为防治鸟害工作提供借鉴与参考。 展开更多
关键词 输电线路 山区 鸟害 防治
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我国建筑业碳排放节能措施研究 被引量:3
15
作者 刘志凡 《城市建筑》 2022年第12期141-144,共4页
建筑业是中国国民经济建设的支柱产业之一,在其自身高速发展的同时伴随着高物耗、高能耗及高二氧化碳排放的问题。本文以中国建筑业碳排放为研究对象,从历史到未来、从总体到具体,对建筑业碳排放的影响因素、未来节能路径及节能减排技... 建筑业是中国国民经济建设的支柱产业之一,在其自身高速发展的同时伴随着高物耗、高能耗及高二氧化碳排放的问题。本文以中国建筑业碳排放为研究对象,从历史到未来、从总体到具体,对建筑业碳排放的影响因素、未来节能路径及节能减排技术进行剖析。研究表明:当前我国减少建筑碳排放既是人类社会发展的需求,也是我国自身发展及建筑业发展的要求。当前我国建筑业碳排放影响因素主要有建筑能耗、人口总量、GDP和人均GDP。随着技术的发展,当前针对建筑业碳排放的节能措施主要有降低建筑能耗,以及寻求社会发展和建筑节能之间的政策平衡。通过本文的研究,希望能为我国建筑业碳排放的研究提供参考。 展开更多
关键词 建筑业 碳排放 影响因素 节能措施
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源网荷储互动的主配一体调度控制系统研究 被引量:3
16
作者 黄天意 李晨昕 +4 位作者 刘玥伶 刘登伟 李健华 刘治凡 胡悦 《四川电力技术》 2022年第4期7-10,50,共5页
在建立以新能源为主体的新型电力系统背景下,为适应新型电力系统的发展需求,文中提出一种主配一体调度控制系统建设方案。通过建立适应广域范围内分布式电源、可控负荷参与的调度控制系统架构,采用云端控制和本地控制相结合的方法,把主... 在建立以新能源为主体的新型电力系统背景下,为适应新型电力系统的发展需求,文中提出一种主配一体调度控制系统建设方案。通过建立适应广域范围内分布式电源、可控负荷参与的调度控制系统架构,采用云端控制和本地控制相结合的方法,把主网和配电网监视和控制功能有机结合,有效提升了源网荷储间的协调能力和清洁能源的消纳水平。 展开更多
关键词 源网荷储 主配一体 协同控制
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基于双重介质模型的正仲氢转化器流动规律研究 被引量:1
17
作者 代盟 刘志帆 张启勇 《低温与超导》 CAS 北大核心 2023年第4期33-39,共7页
为了研究正仲氢转化器中流体的流动规律,建立了催化剂堆积床的颗粒孔隙-堆床空隙的双重介质模型。基于双重介质模型分别建立颗粒孔隙和堆床空隙中正氢和仲氢的质量守恒方程,两种介质之间通过流量交换源项相互耦合。采用控制容法离散控... 为了研究正仲氢转化器中流体的流动规律,建立了催化剂堆积床的颗粒孔隙-堆床空隙的双重介质模型。基于双重介质模型分别建立颗粒孔隙和堆床空隙中正氢和仲氢的质量守恒方程,两种介质之间通过流量交换源项相互耦合。采用控制容法离散控制方程,并数值求解离散方程组。数值算例表明,由于颗粒孔隙与堆床空隙的差异,两种介质中的流动规律存在明显差异。 展开更多
关键词 正仲氢转化 双重介质模型 数值模拟 多孔介质流动
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黄腐酸及人参皂苷Rg1对蛋白磷酸酯酶2A影响的初步研究 被引量:2
18
作者 张彩凤 刘志帆 +4 位作者 宋珍 袁雯 李林 邓晨华 刘翠仙 《腐植酸》 2018年第3期47-55,63,共10页
要:利用分子模拟平台Discovery Studio 4.5研究分析黄腐酸和三七中人参皂苷Rg1分别对蛋白磷酸酯酶2A(Protein phosphatase2A,PP2A)的影响。结果表明,人参皂苷Rg1通过促进PP2A的活性以减少tau蛋白的过度磷酸化,从而防治阿尔茨海默病(Alzh... 要:利用分子模拟平台Discovery Studio 4.5研究分析黄腐酸和三七中人参皂苷Rg1分别对蛋白磷酸酯酶2A(Protein phosphatase2A,PP2A)的影响。结果表明,人参皂苷Rg1通过促进PP2A的活性以减少tau蛋白的过度磷酸化,从而防治阿尔茨海默病(Alzheimer disease,AD)。采用CDOCKER对接技术对黄腐酸和人参皂苷Rg1分别与PP2A结合研究表明,黄腐酸也可能与PP2A发生作用,减少tau蛋白的过度磷酸化。与人参皂苷Rg1和PP2A形成的复合物对接结果表明,黄腐酸可能促进人参皂苷Rg1与PP2A的结合,从而增强PP2A的药理活性。 展开更多
关键词 黄腐酸 三七 人参皂苷RG1 蛋白磷酸酯酶2A(PP2A)
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光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术 被引量:5
19
作者 刘志帆 陈明 +4 位作者 步扬 徐静浩 范李立 张建华 王向朝 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期252-259,共8页
扫描狭缝是步进扫描光刻机用于控制曝光剂量的重要单元。随着光刻工艺节点减小到90 nm及以下,光刻照明分系统对刀口半影宽度的测量精度和重复性提出了更高要求。基于此,提出一种基于光瞳像的光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术。分析... 扫描狭缝是步进扫描光刻机用于控制曝光剂量的重要单元。随着光刻工艺节点减小到90 nm及以下,光刻照明分系统对刀口半影宽度的测量精度和重复性提出了更高要求。基于此,提出一种基于光瞳像的光刻机扫描狭缝刀口半影宽度测量技术。分析了共面扫描狭缝刀片成像光路,推导得到掩模面半影区与光瞳像的对应关系。搭建了扫描狭缝刀口半影检测系统,并对90 nm光刻机照明分系统的扫描狭缝刀口半影宽度进行测量。实验结果表明,所提测量技术可有效改善光强波动对刀口半影宽度测量的影响,扫描狭缝刀口半影宽度的测量重复性达到0.026 mm,提高了3.46倍(与传统扫描法相比)。该技术可用于高数值孔径浸没式光刻机照明分系统光学半影参数的测量。 展开更多
关键词 测量 光刻机 扫描狭缝 半影宽度 成像测量 光瞳
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基于有限元分析方法的深紫外波段熔石英应力双折射分析 被引量:4
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作者 刘志帆 蔡燕民 +2 位作者 步扬 张建华 王向朝 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期212-218,共7页
提出一种深紫外波长条件下熔石英光学元件应力双折射的评估方法。该方法利用有限元仿真技术获取熔石英光学元件内若干截面的应力数据,结合三维插值拟合法、琼斯矩阵和路径积分方法计算光学元件引入的总相位延迟量和总方位角。在忽略样... 提出一种深紫外波长条件下熔石英光学元件应力双折射的评估方法。该方法利用有限元仿真技术获取熔石英光学元件内若干截面的应力数据,结合三维插值拟合法、琼斯矩阵和路径积分方法计算光学元件引入的总相位延迟量和总方位角。在忽略样品平行度误差的情况下,所提方法对熔石英薄板样品在632.8 nm波长下相位延迟量和方位角的数值计算结果和实验结果基本一致,验证了所提方法的准确性和有效性。在此基础上,推导出相同载荷条件下,熔石英薄板在248 nm和193 nm波长下的应力双折射变化量,所得计算结果可用于分析光学元件内部应力双折射对光学系统偏振性能的影响。 展开更多
关键词 物理光学 光刻机 应力双折射 熔石英 有限元 相位延迟量 方位角
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