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c-Si与a-Si的竞争取决于材料费用
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作者 lita shon-roy 《集成电路应用》 2009年第8期36-37,共2页
尽管c-Si和a-Si模块每瓦成本的计算方法并不完全一致,并且长期来看仍认为a-Si电池的成本会更低,但很明显到2013年,a-Si太阳能电池的市场份额仍不会超过20%。
关键词 多晶硅 计算方法 产能 太阳能电池 光生伏打电池 硅电池 硅太阳能电池 成本 财政管理 UMG
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气体净化器防止工艺气体污染
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作者 Maggie Y.M.Lee lita shon-roy 《集成电路应用》 2009年第9期30-33,共4页
即使供应商提供了最高等级的超高纯度工艺气体,fab内气体输送管道以及储存罐阀门所产生的杂质仍然会在气体进入反应腔前造成反应气体污染。而气体输送管线上的气体净化器可以解决这个问题。
关键词 气体净化器 气体污染 工艺气体 气体输送管道 超高纯度 输送管线 反应腔 高等级
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