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INFLUENCE OF NITROGEN ON THERMAL WARPAGE IN CZOCHRALSKI SILICON WAFERS
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作者 lu, huanming 《中国有色金属学会会刊：英文版》 EI CSCD 1999年第2期148-150,共3页
１ＩＮＴＲＯＤＵＣＴＩＯＮＦｏｒｍａｎｙｙｅａｒｓ，ｗａｒｐａｇｅｏｆｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｓｈａｓｂｅｅｎｃｏｎｃｅｒｎｅｄｉｎｖｅｒｙｌａｒｇｅｓｃａｌｅｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔ（ＶＬＳＩ）ｍａｎｕ... １ＩＮＴＲＯＤＵＣＴＩＯＮＦｏｒｍａｎｙｙｅａｒｓ，ｗａｒｐａｇｅｏｆｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｓｈａｓｂｅｅｎｃｏｎｃｅｒｎｅｄｉｎｖｅｒｙｌａｒｇｅｓｃａｌｅｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔ（ＶＬＳＩ）ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ［１－４］．Ｕｓ... 展开更多
关键词 nitrogenthermal warpagemechanical strengthsilicon WAFERS
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