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一种新型数字式加速度传感器原理与设计
被引量:
2
1
作者
庞洁
lukasz pakula
+2 位作者
Paddy French
杨恒
王跃林
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期1996-2000,共5页
建立了一种新型纯数字式加速度传感器的理论模型,通过检测吸合时间差检测加速度.该传感器不存在吸合电压的限制,避免了寄生电容的影响,其芯片面积远小于传统电容式加速度传感器;由于输出时间信号,可采用简单的纯数字接口电路检测.理论...
建立了一种新型纯数字式加速度传感器的理论模型,通过检测吸合时间差检测加速度.该传感器不存在吸合电压的限制,避免了寄生电容的影响,其芯片面积远小于传统电容式加速度传感器;由于输出时间信号,可采用简单的纯数字接口电路检测.理论分析表明,质量块在两个检测电极之间的吸合时间差ΔT与加速度成正比关系,通过检测ΔT的变化即可检测加速度,其灵敏度、非线性与传统电容式加速度传感器相当.设计了一个悬臂梁-质量块结构的加速度传感器,芯片有效面积仅为0.03mm2,模拟结果显示,工作电压为8V,加速度为1gn时,吸合时间的变化ΔT为1.0554μs.采用TTL电路进行检测,其分辨率可以达到0.01gn,满量程±10gn工作时,非线性度为1.23%.
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关键词
加速度传感器
数字式
吸合时间
吸合电压
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职称材料
题名
一种新型数字式加速度传感器原理与设计
被引量:
2
1
作者
庞洁
lukasz pakula
Paddy French
杨恒
王跃林
机构
中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
Delft University of Technology
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期1996-2000,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60406009)
文摘
建立了一种新型纯数字式加速度传感器的理论模型,通过检测吸合时间差检测加速度.该传感器不存在吸合电压的限制,避免了寄生电容的影响,其芯片面积远小于传统电容式加速度传感器;由于输出时间信号,可采用简单的纯数字接口电路检测.理论分析表明,质量块在两个检测电极之间的吸合时间差ΔT与加速度成正比关系,通过检测ΔT的变化即可检测加速度,其灵敏度、非线性与传统电容式加速度传感器相当.设计了一个悬臂梁-质量块结构的加速度传感器,芯片有效面积仅为0.03mm2,模拟结果显示,工作电压为8V,加速度为1gn时,吸合时间的变化ΔT为1.0554μs.采用TTL电路进行检测,其分辨率可以达到0.01gn,满量程±10gn工作时,非线性度为1.23%.
关键词
加速度传感器
数字式
吸合时间
吸合电压
Keywords
accelerometer
digital circuit
pull-in time
pull-in voltage
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型数字式加速度传感器原理与设计
庞洁
lukasz pakula
Paddy French
杨恒
王跃林
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
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职称材料
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