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加热低电阻率半导体晶片的微波行波谐振器
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作者 侯长福 m. d. sirkis 《微波学报》 CSCD 北大核心 1990年第4期28-35,共8页
建立起一台加热低电阻率半导体晶片的行波场谐振器及加热器,实际微波电路测试结果与理论分析相当一致,对能够加热直径达150mm晶片的加热器也进行了研究,另外还给出了温度分布的理论推算及实际温度分布的测量结果,
关键词 半导体 晶片 微波 行波 谐振器
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