Architect^(TM)——MEMS系统级仿真及工艺分析工具(英文)

主要介绍了一种全新的设计方法,在标准的EDA设计环境里、采用可重复使用的MEMS设计库单元,使设计者能够对MEMS产品的工艺可行性作分析。这种设计方法是MEMS开发单位采用“面向加工的设计方法”的重要基础。