集成多晶硅微机械的摩擦与磨损的在位测量

这里,我们描述一组实验、在位测量和理论模型,用来评估集成多晶硅微机械的摩擦系数及其磨损.实验中使用了一个基于激光束的测量系统,监控微机械的旋转运动,记录速度高达1万每秒转的转速,最后在不同的操作条件下决定受测结构的生命周期,某些特殊的元件在运转百万次后仍能正常工作.

三个微加工可变电容式马达的研究

本文讨论了三种可变电容式电动马达的工作原理、设计和微细加工.它们分别是顶部驱动式、侧向驱动式和调谐侧向驱动式三种.这些微型马达的各自优点与不足之处也一并作了讨论.本文中讨论的这些微型马达都是通过表面微细加工的方式制得的.高掺杂的LPCVD多晶硅用作结构部分,牺牲层采用LPCVD氧化硅,而LPCVD氮化硅用作电绝缘.整个加工过程包括两次多晶硅淀积,两次氧化硅及两次氮化硅淀积等步骤.