直接积分法研究电子光学成像系统的时间像差理论

提出了计算动态电子光学成像系统时间像差系数的新方法———直接积分法.以阴极面逸出的轴向电子初能为εz1(0≤εz1≤ε0max)的近轴电子轨迹为比较基准,给出了时间像差的定义,详细叙述了直接积分法并给出求解动态电子光学成像系统时间像差系数的积分表达式.τ变分法求得的二级几何时间像差系数必须求解微分方程,而直接积分法求得的二级几何时间像差系数全部以积分形式表示,仅需进行积分运算,更适用于成像系统的实际计算与设计.

静电聚焦同心球系统验证电子光学成像系统的时间像差理论

关于动态电子光学成像系统的时间像差理论,计算时间像差系数有两种方法———τ变分法和直接积分法.它们的差别在于:τ变分法计算二级几何时间像差系数必须求解微分方程,而直接积分法仅需进行积分运算.采用静电同心球系统的理想模型对这两种方法的正确性进行了检验.结果表明:这两种方法求解电子光学成像系统的时间像差系数的结果完全一致,所求得的时间色差系数与理想模型的解析解完全相同,从而证明两种方法是等价并且正确的.通过验证表明,直接积分法的计算更为简便,适于实际系统的计算与设计.