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金属氧化物气体传感器阵列的制备
被引量:
8
1
作者
李松
martin jaegle
Harald Boettner
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期36-38,共3页
利用薄膜技术制作的半导体金属氧化物气体传感器阵列是由一个基底上的四个传感器单元组成的。基本结构是在 4英寸的硅片上制作完成的。首先 ,沉积金属铂电极 ,加热棒和温度传感器。其次 ,沉积半导体金属氧化物SnO2 。然后进行传感器阵...
利用薄膜技术制作的半导体金属氧化物气体传感器阵列是由一个基底上的四个传感器单元组成的。基本结构是在 4英寸的硅片上制作完成的。首先 ,沉积金属铂电极 ,加热棒和温度传感器。其次 ,沉积半导体金属氧化物SnO2 。然后进行传感器阵列电极的焊接 ,封装。最后进行测量 ,测量结果显示了传感器阵列对不同气体甲烷(CH4) ,一氧化碳 (CO) ,氢气 (H2 ) ,二氧化氮 (NO2 )和氨气 (NH3 )的响应。
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关键词
半导体金属氧化物
气体传感器
传感器阵列
SNO2
下载PDF
职称材料
关于低功耗气体传感器阵列的研究(英文)
被引量:
2
2
作者
李松
martin jaegle
Harald Boettner
《传感技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期57-59,共3页
由电池驱动以微机械技术制造的气体传感器的功耗是十分关键的实际问题。为了研制低功耗气体传感器,在传感器阵列上表面制备完成后,从下表面腐蚀传感器芯片的基底,以造成传感器芯片和封装室之间形成一个空气夹层。从而对有空气夹层的传...
由电池驱动以微机械技术制造的气体传感器的功耗是十分关键的实际问题。为了研制低功耗气体传感器,在传感器阵列上表面制备完成后,从下表面腐蚀传感器芯片的基底,以造成传感器芯片和封装室之间形成一个空气夹层。从而对有空气夹层的传感器芯片和没有空气夹层的传感器芯片的能耗做比较。实验结果显示,腐蚀过的传感器芯片具有较低的功耗。
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关键词
低功耗
气体传感器
传感器阵列
空气夹层
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职称材料
题名
金属氧化物气体传感器阵列的制备
被引量:
8
1
作者
李松
martin jaegle
Harald Boettner
机构
天津大学精仪学院
Fraunhofer Institute of Physical Measurement
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第1期36-38,共3页
文摘
利用薄膜技术制作的半导体金属氧化物气体传感器阵列是由一个基底上的四个传感器单元组成的。基本结构是在 4英寸的硅片上制作完成的。首先 ,沉积金属铂电极 ,加热棒和温度传感器。其次 ,沉积半导体金属氧化物SnO2 。然后进行传感器阵列电极的焊接 ,封装。最后进行测量 ,测量结果显示了传感器阵列对不同气体甲烷(CH4) ,一氧化碳 (CO) ,氢气 (H2 ) ,二氧化氮 (NO2 )和氨气 (NH3 )的响应。
关键词
半导体金属氧化物
气体传感器
传感器阵列
SNO2
Keywords
metal-oxide semiconductor
gas sensor
sensor array
SnO_2
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
关于低功耗气体传感器阵列的研究(英文)
被引量:
2
2
作者
李松
martin jaegle
Harald Boettner
机构
天津大学精仪学院
Fraunhofer Institute of Physical Measurement
出处
《传感技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期57-59,共3页
文摘
由电池驱动以微机械技术制造的气体传感器的功耗是十分关键的实际问题。为了研制低功耗气体传感器,在传感器阵列上表面制备完成后,从下表面腐蚀传感器芯片的基底,以造成传感器芯片和封装室之间形成一个空气夹层。从而对有空气夹层的传感器芯片和没有空气夹层的传感器芯片的能耗做比较。实验结果显示,腐蚀过的传感器芯片具有较低的功耗。
关键词
低功耗
气体传感器
传感器阵列
空气夹层
Keywords
low power consumption
gas sensor
sensor array
air gap
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
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1
金属氧化物气体传感器阵列的制备
李松
martin jaegle
Harald Boettner
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005
8
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职称材料
2
关于低功耗气体传感器阵列的研究(英文)
李松
martin jaegle
Harald Boettner
《传感技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
2
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职称材料
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