PECVD法加氢、加氮制备无定形炭的物理性质

一、引言用活性等离子体制备多样的、具有明显不同性质纯的和合金炭,有着重大的意义,除制备常规的石墨型外,PECVD法(等离子体增强化学气相沉积),制备的氢化无定形炭(α-C:H)和金刚石类晶体。应用射频(RF)等离子工艺技术,我们已制备了氢化无定形炭(α-C:H)并且把N掺杂进去。在这些氮化了的炭(α-C:N:H)里,我们加入了额外的π电子,增大了SP^2和SP^1键与通常由氢含量稳定的SP^3键的比值;