洁净室性能测试及认证的基础

由于当今芯片的线宽日趋细小,其设计和加工的工艺要求日益复杂,因此设计和建造相应的超净洁净室的价格也就变的非常昂贵,所以洁净室性能的测试就变的日益重要。在下面这篇文章中,新加坡CESSTECH公司突出了洁净室性能测试的重要性,并着眼于动态测试、测试标准和一些被推荐的惯例。