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InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触(英文)
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作者 张静 吕红亮 +3 位作者 倪海桥 牛智川 张义门 张玉明 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期679-682,687,共5页
为了得到较低的接触电阻,研究了帽层未掺杂的InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触.利用传输线模型(TLM)测量了接触电阻Rc.在最佳的快速热退火条件为275℃和20s时,InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au接触电阻值为0.128Ω·mm.TEM... 为了得到较低的接触电阻,研究了帽层未掺杂的InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触.利用传输线模型(TLM)测量了接触电阻Rc.在最佳的快速热退火条件为275℃和20s时,InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au接触电阻值为0.128Ω·mm.TEM观察发现经过快速热退火后Pd已经扩散到半导体中有利于高质量欧姆接触的形成.研究表明经过Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触后Rc有明显减小,适用于InAs/AlSb异质结的应用. 展开更多
关键词 欧姆接触 快速热退火 InAs/AlSb异质结
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半导体自组织量子点量子发光机理与器件 被引量:2
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作者 尚向军 马奔 +4 位作者 陈泽升 喻颖 查国伟 倪海桥 牛智川 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第22期125-133,共9页
介绍了自组织量子点单光子发光机理及器件研究进展.主要内容包括:半导体液滴自催化外延GaAs纳米线中InAs量子点和GaAs量子点的单光子发光效应、自组织InAs/GaAs量子点与分布布拉格平面微腔耦合结构的单光子发光效应和器件制备,单量子点... 介绍了自组织量子点单光子发光机理及器件研究进展.主要内容包括:半导体液滴自催化外延GaAs纳米线中InAs量子点和GaAs量子点的单光子发光效应、自组织InAs/GaAs量子点与分布布拉格平面微腔耦合结构的单光子发光效应和器件制备,单量子点发光的共振荧光测量方法、量子点单光子参量下转换实现的纠缠光子发射、单光子的量子存储效应以及量子点单光子发光的光纤耦合输出芯片制备等. 展开更多
关键词 自组织量子点 纳米线 微腔 单光子 纠缠光子
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金纳米颗粒调控量子点激子自发辐射速率 被引量:1
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作者 李元和 卓志瑶 +6 位作者 王健 黄君辉 李叔伦 倪海桥 牛智川 窦秀明 孙宝权 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期336-342,共7页
将InAs/GaAs量子点样品薄膜置于覆盖有直径为50 nm的金(Au)纳米颗粒的硅衬底上,可以调控量子点激子的自发辐射速率.实验发现,当量子点浸润层距离Au纳米颗粒表面15-35 nm时,激子自发辐射速率受到抑制,且距离为19 nm时抑制作用最大,导致... 将InAs/GaAs量子点样品薄膜置于覆盖有直径为50 nm的金(Au)纳米颗粒的硅衬底上,可以调控量子点激子的自发辐射速率.实验发现,当量子点浸润层距离Au纳米颗粒表面15-35 nm时,激子自发辐射速率受到抑制,且距离为19 nm时抑制作用最大,导致量子点激子的自发辐射速率减小到没有Au纳米颗粒时自发辐射速率的10^(-3).基于经典的偶极辐射模型模拟计算的激子自发辐射速率与实验结果一致. 展开更多
关键词 量子点 自发辐射速率 金属纳米颗粒 长寿命激子
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利用分子束外延在GaAs基上生长高特征温度的InAs量子点激光器 被引量:1
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作者 袁野 苏向斌 +7 位作者 杨成奥 张一 尚金铭 谢圣文 张宇 倪海桥 徐应强 牛智川 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期667-670,共4页
通过MBE外延系统生长了1.3µm的GaAs基InAs量子点激光器.为了获得更好的器件性能,InAs量子点的最优生长温度被标定为520℃,并且在有源区中引入Be掺杂.制备了脊宽100µm,腔长2 mm的激光器单管器件,在未镀膜的情况下,达到了峰值功... 通过MBE外延系统生长了1.3µm的GaAs基InAs量子点激光器.为了获得更好的器件性能,InAs量子点的最优生长温度被标定为520℃,并且在有源区中引入Be掺杂.制备了脊宽100µm,腔长2 mm的激光器单管器件,在未镀膜的情况下,达到了峰值功率1.008 W的室温连续工作,阈值电流密度为110 A/cm^-2,在80℃下仍然可以实现连续工作,在50℃以下范围内,特征温度达到405 K. 展开更多
关键词 量子点激光器 分子束外延 特征温度 中红外
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1.55μm通信波段InAs/GaAs量子点制备方法研究 被引量:1
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作者 池振昊 王海龙 +1 位作者 倪海桥 牛智川 《通信技术》 2019年第6期1311-1315,共5页
利用分子束外延技术在GaAs衬底上生长InAs量子点,采用梯度生长法实现了量子点的成岛参数和量子点密度精确可控。通过在GaAs衬底上生长InGaAs组分渐变缓冲层进而自组织外延InAs量子点的方法,将GaAs衬底的InAs量子点发光波长拓展到了1550n... 利用分子束外延技术在GaAs衬底上生长InAs量子点,采用梯度生长法实现了量子点的成岛参数和量子点密度精确可控。通过在GaAs衬底上生长InGaAs组分渐变缓冲层进而自组织外延InAs量子点的方法,将GaAs衬底的InAs量子点发光波长拓展到了1550nm通讯波段,并研究了渐变层中最大In组分、以及InAs淀积量等因素对于量子点发光性能的影响。结果显示,渐变层最上层In组分越大,与InAs量子点的失配越小生长尺寸越大,量子点的发光波长越长,光致荧光谱呈现整体红移的趋势。在渐变缓冲层上外延InAs的淀积量为1.65ML时可以得到线宽较窄强度较高的单量子点发光峰。 展开更多
关键词 INAS/GAAS 自组织量子点 分子束外延 通信波段
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静水压力调谐Ag纳米颗粒散射场下量子点激子寿命
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作者 黄君辉 李元和 +5 位作者 王健 李叔伦 倪海桥 牛智川 窦秀明 孙宝权 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第24期350-357,共8页
将InAs/GaAs量子点薄膜样品转移到Ag纳米颗粒覆盖的Si衬底上,然后将样品放到金刚石对顶砧压力腔室内.在1.09—1.98 GPa的压力范围内,测量了量子点激子的荧光光谱和时间分辨光谱.实验结果显示,随着静水压力的增大,激子的发光波长蓝移,激... 将InAs/GaAs量子点薄膜样品转移到Ag纳米颗粒覆盖的Si衬底上,然后将样品放到金刚石对顶砧压力腔室内.在1.09—1.98 GPa的压力范围内,测量了量子点激子的荧光光谱和时间分辨光谱.实验结果显示,随着静水压力的增大,激子的发光波长蓝移,激子的发光寿命从(41±3)×10 ns延长到(120±4)×10 ns,再减短到(7.6±0.2)ns,在激子发光波长为797.49nm时,寿命达到最长的(120±4)×10 ns.相比没有Ag纳米颗粒影响的InAs/GaAs量子点中的激子寿命约1ns,激子的寿命延长了约1200倍.其物理机制为量子点浸润层中激子的辐射场和Ag纳米颗粒的散射场之间发生相消干涉,抑制了浸润层中激子的自发辐射,这些长寿命的浸润层激子将扩散到量子点中,并辐射复合发光,从而观察到量子点激子的长寿命衰变曲线.这一实验结果与基于在散射场下的偶极子辐射模型计算结果一致. 展开更多
关键词 INAS/GAAS量子点 自发辐射速率 AG纳米颗粒 长寿命激子 静水压力
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量子点单光子源的光纤耦合
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作者 尚向军 李叔伦 +4 位作者 马奔 陈瑶 何小武 倪海桥 牛智川 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第8期366-373,共8页
半导体量子点在低温下产生谱线细锐的激子发光可制备单光子源.光纤耦合可避免低温共聚焦装置扫描定位和振动影响,是实现单光子源即插即用和组件化的关键技术.在耦合工艺上,基于微区定位标记发展出拉锥光纤与光子晶体腔或波导侧向耦合、... 半导体量子点在低温下产生谱线细锐的激子发光可制备单光子源.光纤耦合可避免低温共聚焦装置扫描定位和振动影响,是实现单光子源即插即用和组件化的关键技术.在耦合工艺上,基于微区定位标记发展出拉锥光纤与光子晶体腔或波导侧向耦合、大数值孔径锥形端面光纤与量子点样片垂直耦合等技术;然而,上述工艺需要多维度精密调节以避免柔软光纤的畸形弯曲实现对准和高效耦合.陶瓷插针或石英V槽封装的光纤无弯曲且具有大平滑端面,只要与单量子点样片对准贴合就可保证垂直收光, V槽封装的排式光纤还可通过盲对粘合避免扫描对准,耦合简单.本文在前期排式光纤粘合少对数分布Bragg反射镜(distributed Bragg reflector, DBR)微柱样片实现单光子输出基础上,经理论模拟采用多对数DBR腔提升样片垂直出光和光纤收光效率,使光纤输出单光子计数率大大提升. 展开更多
关键词 量子点单光子源 光纤耦合 分布Bragg反射镜腔 垂直出光
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交错梳齿型静电驱动MEMS微镜的设计与制作
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作者 李晓明 郝瑞亭 +1 位作者 倪海桥 牛智川 《云南师范大学学报(自然科学版)》 2022年第2期9-13,共5页
设计了一种交错梳齿型(SVC)静电驱动MEMS微镜,首先在底层硅片上通过刻蚀预留出微镜活动空间,并进行固定梳齿组刻蚀,然后再在上面键合顶层硅片,并将顶层硅片减薄抛光至目标厚度,再在其上进行移动梳齿组和镜面结构的刻蚀.该工艺既兼顾了SV... 设计了一种交错梳齿型(SVC)静电驱动MEMS微镜,首先在底层硅片上通过刻蚀预留出微镜活动空间,并进行固定梳齿组刻蚀,然后再在上面键合顶层硅片,并将顶层硅片减薄抛光至目标厚度,再在其上进行移动梳齿组和镜面结构的刻蚀.该工艺既兼顾了SVC型微镜偏转角度较大的优点,又避免了使用SOI衬底导致背面套刻精度差的缺点,提高了整个结构的稳定性,该微镜的最大理论角度可达24.7°. 展开更多
关键词 光刻 键合 垂直交错梳齿 MEMS 微镜
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High Quality Pseudomorphic In_(0.24)GaAs/GaAs Multi-Quantum-Well and Large-Area Transmission Electro-Absorption Modulators
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作者 YANG Xiao-Hong LIU Shao-Qing +4 位作者 ni hai-qiao LI Mi-Feng LI Liang HAN Qin niU Zhi-Chuan 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2013年第4期133-135,共3页
The good quality of 200 pairs of highly strained In_(0.24)GaAs/GaAs multi-quantum-well(MQW)structure is demonstrated by the x-ray diffraction and photoluminescence curves.Large-area modulators based on the pseudomorph... The good quality of 200 pairs of highly strained In_(0.24)GaAs/GaAs multi-quantum-well(MQW)structure is demonstrated by the x-ray diffraction and photoluminescence curves.Large-area modulators based on the pseudomorphic In_(0.24)GaAs/GaAs MQW are designed and fabricated successfully,where the diameters are not less than 3 mm and the working wavelength is extended to 1064 nm.The single pass modulation depth is demonstrated to be 0.34 at 1064 nm at a reverse voltage of 80 V. 展开更多
关键词 GaAs/Ga Quantum STRAINED
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The Resonant Fluorescence of a Single InAs Quantum Dot in a Cavity
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作者 DOU Xiu-Ming YU Ying +3 位作者 SUN Bao-Quan JIANG De-Sheng ni hai-qiao niU Zhi-Chuan 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2012年第10期48-50,共3页
We report the coherent resonant emission of the exciton state in a single InAs quantum dot,embedded in a planar optical microcavity.The quantum dot is excited by a laser beam from the cleaved sample edge,and the reson... We report the coherent resonant emission of the exciton state in a single InAs quantum dot,embedded in a planar optical microcavity.The quantum dot is excited by a laser beam from the cleaved sample edge,and the resonant fluorescence is collected in the direction perpendicular to the excitation laser beam,so the residual laser scattering can be deeply suppressed.This experimental setup enables us to observe Rabi oscillation and a Mollow triplet with Rabi energy up to about 27μeV. 展开更多
关键词 SCATTERING RESONANT QUANTUM
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Tunable Metamorphic Resonant Cavity Enhanced InGaAs Photodetectors Grown on GaAs Substrates
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作者 LIU Shao-Qing HAN Qin +5 位作者 ZHU Bin YANG Xiao-Hong ni hai-qiao HE Ji-Fang WANG Xin niU Zhi-Chuan 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2012年第3期251-254,共4页
Tunable metamorphic InGaAs partially depleted absorber photodiodes with resonant cavity enhanced structure are fabricated on GaAs substrate.Dark-current densities of 7.2×10^(-7)A/cm^(2) at 0 V and 3.6×10^(-4... Tunable metamorphic InGaAs partially depleted absorber photodiodes with resonant cavity enhanced structure are fabricated on GaAs substrate.Dark-current densities of 7.2×10^(-7)A/cm^(2) at 0 V and 3.6×10^(-4)A/cm^(2) at-5 V,a high quantum efficiency of 74.4%at 1546nm,and a 3-dB bandwidth up to 12GHz are achieved.The full width at half maximum of the detector is about 16nm.Furthermore,through thermal tuning,the peak wavelength red shifts from 1527nm to 1544 nm,and a tuning range of 17nm is realized without fabricating extra tuning electrodes. 展开更多
关键词 tuning TUNABLE ABSORBER
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Intermediate-Band Solar Cells Based on InAs/GaAs Quantum Dots
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作者 YANG Xiao-Guang YANG Tao +8 位作者 WANG Ke-Fan GU Yong-Xian JI Hai-Ming XU Peng-Fei ni hai-qiao niU Zhi-Chuan WANG Xiao-Dong CHEN Yan-Ling WANG Zhan-Guo 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2011年第3期218-220,共3页
We report the fabrication of intermediate-band solar cells(IBSCs)based on quantum dots(QDs),which consists of a standard P-I-N structure with multilayer stacks of InAs/GaAs QDs in the I-layer.Compared with conventiona... We report the fabrication of intermediate-band solar cells(IBSCs)based on quantum dots(QDs),which consists of a standard P-I-N structure with multilayer stacks of InAs/GaAs QDs in the I-layer.Compared with conventional GaAs single-junction solar cells,the IBSCs based on InAs/GaAs QDs show a broader photo-response spectrum(>1330 nm),a higher short-circle current(about 53%increase)and a stronger radiation hardness.The results have important applications for realizing high efficiency solar cells with stronger radiation hardness. 展开更多
关键词 INAS/GAAS SOLAR QUANTUM
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Multilayer Antireflection Coating for Triple Junction Solar Cells
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作者 ZHAN Feng WANG Hai-Li +4 位作者 HE Ji-Fang WANG Juan HUANG She-Song ni hai-qiao niU Zhi-Chuan 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2011年第4期209-212,共4页
According to the theory of optical films,we simulate the reflectivity of antireflection coatings(ARCS)for solar cells of Gao.51no.5P/GaAs/Ge based on an optical transfer matrix.In order to provide sufficient considera... According to the theory of optical films,we simulate the reflectivity of antireflection coatings(ARCS)for solar cells of Gao.51no.5P/GaAs/Ge based on an optical transfer matrix.In order to provide sufficient consideration of the refractive index dispersion effect of multilayer ARCS,we use multi-dimensional matrix data for reliable simulation.After the reflection curves are obtained,the effective average reflectance Re is introduced to optimize the film system by minimizing Re.Optimization of single layer(A1_(2)0_(3)),double layer(MgF_(2)/ZnS)and triple layer(MgF_(2)/A1_(2)0_(3)/ZnS)ARCS is realized by using this method for space and terrestrial applications.Effects of these ARCS are compared after optimization.These theoretical parameters can be used to guide experiments. 展开更多
关键词 SOLAR LAYER MULTILAYER
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Erratum:Multilayer Antireflection Coating for Triple Junction Solar Cells[Chin.Phys.Lett.28(2011)047802]
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作者 ZHAN Feng WANG Hai-Li +4 位作者 HE Ji-Fang WANG Juan HUANG She-Song ni hai-qiao niU Zhi-Chuan 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2012年第1期303-303,共1页
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