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适用于微弱信号检测的低噪声仪表放大器 被引量:7
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作者 李捷菲 尼启良 王富昕 《吉林大学学报(信息科学版)》 CAS 2019年第3期341-345,共5页
为解决传统仪表放大器的噪声与纹波等问题,设计了一种能测量微弱电信号的低噪声电容耦合斩波仪表放大器(CCIA:Capacitively-Coupled Chopper Instrumentation Amplifier),实现了极低的增益误差与等效噪声。通过采用斩波结构使输入共模... 为解决传统仪表放大器的噪声与纹波等问题,设计了一种能测量微弱电信号的低噪声电容耦合斩波仪表放大器(CCIA:Capacitively-Coupled Chopper Instrumentation Amplifier),实现了极低的增益误差与等效噪声。通过采用斩波结构使输入共模电压达到轨对轨范围;两级折叠式共源共栅放大器能有效地提升开环增益;同时,纹波减少环路(RRL:Ripple Reduction Loop)可抑制CCIA输出端的斩波纹波;可调正反馈回路(TPFL:Tunable Positive Feedback Loop)能提升CCIA的输入阻抗;最后,直流伺服回路(DCL:DC Cancellation Loop)能抑制电极偏移并有利于微弱信号检测。CCIA采用标准0. 18μm CMOS工艺实现,仿真结果表明,电路的增益误差为0. 11%,在100 Hz下,等效输入参考噪声为6. 98 n V。 展开更多
关键词 仪表放大器 斩波 低噪声 高增益精度 波纹减少 正反馈环路
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28 nm技术节点微小多晶硅桥连缺陷检测与改进方法的研究
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作者 范荣伟 倪棋梁 陈宏璘 《集成电路应用》 2019年第5期23-26,共4页
针对28 nm技术节点产品上多晶硅微小桥连缺陷,应用电压衬度与光学检测系统,探索了缺陷检测方法的开发流程,建立了缺陷监控指标,并据此评估了缺陷的改善方案。对缺陷检测方法开发流程进行了创新:通过电压衬度系统进行精确扫描,检测出的... 针对28 nm技术节点产品上多晶硅微小桥连缺陷,应用电压衬度与光学检测系统,探索了缺陷检测方法的开发流程,建立了缺陷监控指标,并据此评估了缺陷的改善方案。对缺陷检测方法开发流程进行了创新:通过电压衬度系统进行精确扫描,检测出的微小桥连缺陷经电子束表面标记,被用于光学检测系统进行扫描条件开发,最终确定的光学扫描方法被用于缺陷监控与缺陷改善。根据实验结果,进一步推论了缺陷形成的机理,优化了光刻与干刻工艺条件,更换了全新类型的光阻材料,从而使缺陷问题得到解决。电子束扫描所提供的电压衬度像为扫描程式的开发提供了较高的分辨率,弥补了亮场缺陷检测方法分辨率较低的局限。缺陷在线监控指标的建立为在线工艺改善提供了在线数据指标,与良率测试结果相比,加快了先进制程产品的研发进度。 展开更多
关键词 电压衬度 电子束扫描 28nm 缺陷检测 流程开发 光刻工艺 干刻工艺
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电压衬度方法检测先进制程中极微小物理缺陷的研究
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作者 倪棋梁 范荣伟 陈宏璘 《集成电路应用》 2019年第5期27-29,共3页
针对STI表面极微小氧化物残留缺陷,探索了应用电压衬度检测缺陷的方法,建立了缺陷监控指标,并据此评估了缺陷的改善方案。对缺陷检测方法进行了机理分析:通过调整电荷的积累与释放速率,增强缺陷的形貌衬度信号。根据实验结果,进一步推... 针对STI表面极微小氧化物残留缺陷,探索了应用电压衬度检测缺陷的方法,建立了缺陷监控指标,并据此评估了缺陷的改善方案。对缺陷检测方法进行了机理分析:通过调整电荷的积累与释放速率,增强缺陷的形貌衬度信号。根据实验结果,进一步推论了缺陷形成的机理,优化了化学机械研磨工艺条件并更新了研磨液种类,从而使缺陷问题得到解决。E-beam扫描提供的全新检测方法,弥补了亮场缺陷检测方法分辨率较低的局限,为工艺改善提供了在线数据指标,与良率测试结果相比,加快了先进制程产品的研发进度。 展开更多
关键词 电压衬度 电子束扫描 28nm 缺陷检测 形貌衬度 化学机械研磨
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Space solar telescope in soft X-ray and EUV band 被引量:4
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作者 CHEN Bo LIU Zhen +4 位作者 YANG Lin GAO Liang HE Fei WANG XiaoGuang ni qiliang 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2009年第11期1806-1809,共4页
In this paper we have reviewed our achievements in soft X-ray and extreme ultraviolet (EUV) optics. Up to now, the research system of soft X-ray and EUV optics has been established, including light sources, detectors,... In this paper we have reviewed our achievements in soft X-ray and extreme ultraviolet (EUV) optics. Up to now, the research system of soft X-ray and EUV optics has been established, including light sources, detectors, calibrations, optical testing and machining of super smooth mirrors, and fabrications of multilayer film mirrors. Based on our achievements, we have developed two types of solar space telescopes for the soft X-ray and EUV space solar observations. One is an EUV multilayer normal incident telescope array including 4 different operation wavelength telescopes. The operation wavelengths of the EUV telescope are 13.0, 17.1, 19.5 and 30.4 nm. The other is a complex space solar telescope, which is composed of an EUV multilayer normal incident telescope and a soft X-ray grazing incident telescope. The EUV multilayer normal incident telescope stands in the central part of the soft X-ray grazing incident telescope. The normal incident telescope and the grazing incident telescope have a common detector. The different operation wavelengths can be changed by rotating a filter wheel. 展开更多
关键词 space solar telescope soft X-ray EUV OPTIC
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