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用于沉积Co—Cr垂直磁性载声体的平面靶溅射系统
1
作者
nijmu.
,
y
梁贵华
《四川真空》
1991年第2期46-47,共2页
关键词
CO-CR
薄膜
载声体
沉积
溅射系统
下载PDF
职称材料
题名
用于沉积Co—Cr垂直磁性载声体的平面靶溅射系统
1
作者
nijmu.
,
y
梁贵华
出处
《四川真空》
1991年第2期46-47,共2页
关键词
CO-CR
薄膜
载声体
沉积
溅射系统
分类号
TN305.92 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
用于沉积Co—Cr垂直磁性载声体的平面靶溅射系统
nijmu.
,
y
梁贵华
《四川真空》
1991
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