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下一代CMOS纳米线:从原子级到电路级仿真
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作者 Udita Kapoor Sean CKelly +9 位作者 Mark Townsend Derek Kimpton Eric Guichard 欧阳文捷 Sebastien Martini Thierry Poiroux oliver rozeau James Charles Daniel Lemus Tillmann Kubis 《中国集成电路》 2021年第9期37-41,共5页
本文介绍了一个基于纳米线的环形振荡器电路的完整仿真流程,其中的有源器件运用了原子级器件模拟器对其进行了仿真。该仿真的结果已被证明适合于专门为纳米线/GAA环栅场效应晶体管(FET)制定的有源器件SPICE紧凑模型。最后,本文中把有源... 本文介绍了一个基于纳米线的环形振荡器电路的完整仿真流程,其中的有源器件运用了原子级器件模拟器对其进行了仿真。该仿真的结果已被证明适合于专门为纳米线/GAA环栅场效应晶体管(FET)制定的有源器件SPICE紧凑模型。最后,本文中把有源器件纳入SPICE网表,其中包括了后端电阻和电容寄生电阻。 展开更多
关键词 TCAD仿真 原子器件仿真 SPICE仿真 硅纳米线FET
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