极紫外光刻光源

分析了极紫外光刻技术作为下一代光刻技术的首选技术目前飞速发展阶段的状况,表明欧、美、日、俄等国家和地区在该领域集中了大量的人力、物力的目标是将光刻精度提高到50nm。指出了极紫外光源是极紫外光刻的核心设备,目前的主要研究方向是提高能量转换效率和输出功率,提高系统各部分的寿命,降低成本等。

巴昆混凝土面板堆石坝的设计标准

马来西亚沙捞越州的巴昆工程装机2400MW，计划于2002年完工。该工程系目前由私营部门按“兴建-运行-移交”方式开发兴建的世界上最大的水力发电工程。巴昆坝坝高205m，长740m，总方量约15．5×106m3，建成后将成为世界上最高的混凝土面析堆石坝之一。