瓶装高纯气体粒子污染的测定与控制

前言由于半导体工业的持续发展,已生产出了更密集和更复杂的电路。因此,在工厂生产工艺中,所用材料的洁净度和纯度就变得更为关键了。集成电路生产时,粒子的污染已被认为是唯一最大产品损失率的来源。粒子可以引起电路的断路或短路,改变半导体的电性能,造成晶格结构的损坏。