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大面积双面外延YBCO超导薄膜研制
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作者 李言荣 陶伯万 +4 位作者 刘兴钊 罗安 J.Geerk F.Ratzel r.smithy 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第12期131-132,共2页
本文通过倒筒式直流对靶溅射 (ICP)方法 ,在 3英寸范围内LaAlO3 和蓝宝石 (Al2 O3 )单晶基片上成功实现了两面同时沉积YBCO(YBa2 Cu3 Oy)高温超导外延薄膜 ,其TC0 =88~ 91K ,JC=1~ 5× 10 6A/cm2 ,RS(77K ,145GHz) =2 0~ 40mΩ ... 本文通过倒筒式直流对靶溅射 (ICP)方法 ,在 3英寸范围内LaAlO3 和蓝宝石 (Al2 O3 )单晶基片上成功实现了两面同时沉积YBCO(YBa2 Cu3 Oy)高温超导外延薄膜 ,其TC0 =88~ 91K ,JC=1~ 5× 10 6A/cm2 ,RS(77K ,145GHz) =2 0~ 40mΩ ,双面薄膜的两面一致性和面内均匀性都非常良好 ,可以满足微波器件研制的要求 . 展开更多
关键词 高温超导 YBCO 外延薄膜 倒筒式直流对靶溅射
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GdBaCuO超导薄膜T_c值的优化实验研究
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作者 李言荣 刘兴钊 +2 位作者 徐进 J.GEERK r.smithy 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第10期2023-2028,共6页
GdBaCuO超导薄膜Tc值的优化实验研究李言荣刘兴钊徐进(电子科技大学信息材料工程学院,成都610054)J.GEERKR.SMITHY(INFP,ForschungszentrumKarlsruhe,D7602... GdBaCuO超导薄膜Tc值的优化实验研究李言荣刘兴钊徐进(电子科技大学信息材料工程学院,成都610054)J.GEERKR.SMITHY(INFP,ForschungszentrumKarlsruhe,D76021,Germany)(1997年1... 展开更多
关键词 优化实验 GBCO 超导体 薄膜 临界温度
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