基于分子电子传感器技术可用于行星探测的微型地震仪

描述了一种基于分子电子传感器(MET)技术的微型机械地震计的研制过程。不同于固体惯性质量,分子电子传感器地震计是探测液体电解质相对于固定电极的移动。使用微机电系统技术将探测单元的内部尺寸减小到1μm并且提高了设备的再现性。对600mV的工作偏置电压,在0.32Hz的400μg(g≡9.81m/s2)加速度条件下可测得灵敏度为809V/(m/s2)。在1Hz获得的噪声水平为-115dB(相对于(m/s2)/Hz^(1/2))。这项工作研发了一个可供选择小尺寸、高灵敏度、低本底噪声、高振动范围和独立安装角度的地震计设备。这有希望成为下一代行星探测用的地震仪。