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MEMS技术在光网络的应用
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作者 Armand Neukermans rajiv ramaswami +1 位作者 黄国勇 张海霞 《中国集成电路》 2002年第1期42-50,共9页
互联网的飞速发展对宽带通信提出的需求只能由光网络满足,这转而导致了前所未有的对光微机械系统(MEMS)的兴趣。从光纤光学的早期开始,人们就认识到微光学是MEMS应用的沃土。基于MEMS的产品在光网络应用领域如交换结构、可变衰减器、可... 互联网的飞速发展对宽带通信提出的需求只能由光网络满足,这转而导致了前所未有的对光微机械系统(MEMS)的兴趣。从光纤光学的早期开始,人们就认识到微光学是MEMS应用的沃土。基于MEMS的产品在光网络应用领域如交换结构、可变衰减器、可调激光器及其它器件中具有本质上的性能价格优势。本文回顾了在光网络应用中的各种MEMS技术。 展开更多
关键词 光网络 交换时间 可调激光器 光纤 光交换 表面微加工 器件层 网络应用 可变光学衰减器 制造技术
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