生产型测量机的直线光栅尺——热膨胀系数决定精度

计量室为精密测量提供了良好环境。但其缺点是计量室、测量机和稳定温度的成本太高。随着对大批量生产的控制要求越来越高,因此要求测量机必须更接近实际生产位置。这就是生产型测量。生产型测量可使测量结果直接进入生产控制,因此能提升加工精度。显著的成本效益和节省时间是这个发展趋势的驱动力。

用于车间型测量机的光栅尺

测量视通常都在已知、精确定义的环境中工作。此时测量机的性能很大程度上由所使用的光栅尺的信号质量和精度决定。

测量机精度——纳米级新技术

半导体工业的集中化程度在不断提高,半导体结构越来越精细,因此其生产过程和其测量及检测过程需要更高的纳米级定位精度。导轨方向误差和热膨胀导致的测量误差现在仍无法通过计算进行补偿,但可被新型测量设备确定并将其大幅减小。"要改变,必须先测量。