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环氧芯片粘片:大芯片的挑战 被引量:1
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作者 renej.ulrich 郭大琪 《微电子技术》 1996年第5期128-132,共5页
芯片尺寸增大,就需要改进自动芯片粘片系统的分配技术。当采用编程环氧图形精确控制环氧分配方法时,可在芯片和载体之间获得绝无空洞的粘结层。最新开发了一种具有专利权的软件控制分配器。由于填料压力、分布方法不变,且应用原来的... 芯片尺寸增大,就需要改进自动芯片粘片系统的分配技术。当采用编程环氧图形精确控制环氧分配方法时,可在芯片和载体之间获得绝无空洞的粘结层。最新开发了一种具有专利权的软件控制分配器。由于填料压力、分布方法不变,且应用原来的工艺规范,导电胶就可均匀地分布在引线框架和芯片之间,不会出现银分离。 展开更多
关键词 环氧芯片粘片 芯片 导电胶 粘结剂
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