在三种泵体系中研磨液颗粒尺寸分布对过滤器使用寿命的影响

在输系统一般用于供应研磨液．这种研磨液用于在生产半导体芯片过程中的平整晶圆的工序。这种系统通过对研磨液加压使之得以传输到使用设备上去．并使研磨液不断循环以使得颗粒保持悬浮状态。有多种方法可以实现对研磨液的加压和循环，包括各种的泵体和压力真空技术。一般来说．在使用研磨液制造晶圆之前．研磨液需要通过传输系统循环大约100次1。